[实用新型]一种用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置有效
申请号: | 202121287568.8 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN215644407U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 刘克明;童颜;杨金龙;姚二现;谢龙飞;王立 | 申请(专利权)人: | 南瑞联研半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L29/739 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 韩春霞 |
地址: | 211100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 压接式 igbt 模组 压力 夹持 装置 | ||
1.一种用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,包括施压机构、用于设于施压机构下方的施压平台和设于施压平台上的压力保持机构,所述施压机构通过导柱与施压平台连接,所述施压机构底部设有光栅传感器,所述施压机构能够向放置于压力保持机构内的压接式IGBT子模组施压。
2.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述施压机构包括用于向放置于压力保持机构内的压接式IGBT子模组施压的压头和用于驱动压头移动的驱动机构,所述驱动机构与压头固接。
3.根据权利要求2所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述压头上套设有用于缓冲压力的软胶面。
4.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述施压机构还包括用于显示施加压力的数字显示屏。
5.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述施压平台上设有若干定位销,所述定位销用于定位压力保持机构。
6.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述压力保持机构包括设有凹槽的底板和盖板,所述盖板能够在施压机构向其施压时向底板移动。
7.根据权利要求6所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述底板和盖板上的对应位置设有通孔,所述底板和盖板通过能够穿过所述通孔的螺栓连接。
8.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述施压机构、施压平台、压力保持机构和导柱采用铝合金、不锈钢、钛合金中的任一种。
9.根据权利要求1所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,还包括与施压平台固接的支撑架,所述支撑架设于施压平台底部。
10.根据权利要求9所述的用于压接式IGBT子模组压力灌胶的夹持装置,其特征在于,所述支撑架底部设有与支撑架固接的地脚滑轮。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造