[实用新型]一种晶圆贴底膜装置

权利要求书

1.一种晶圆贴底膜装置，包括底台(1)、贴膜盘(2)、底膜辊(3)和收卷辊(4)，其特征在于：所述底台(1)上表面的中部设有贴膜盘(2)，所述贴膜盘(2)的一侧转动连接有底膜辊(3)，所述底台(1)远离底膜辊(3)的一端转动连接有收卷辊(4)，所述底台(1)的两侧均设有阻尼杆(5)，所述底台(1)通过阻尼杆(5)固定连接有升降框(6)，所述升降框(6)的内壁滑动连接有贴膜辊(7)，所述升降框(6)的一侧铰接有顶盖(8)，所述顶盖(8)的表面转动连接有圆盘(9)，所述圆盘(9)的表面固定安装有切割机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴底膜装置，其特征在于：所述贴膜辊(7)包括滑道(701)、安装架(702)和转筒(703)，所述滑道(701)位于升降框(6)的内壁，所述滑道(701)的一侧滑动连接有安装架(702)，所述安装架(702)的底部转动连接有转筒(703)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴底膜装置，其特征在于：所述切割机构(10)包括支撑架(1001)、连接杆(1002)、螺纹杆(1003)、转动杆(1004)、主动齿轮(1005)、从动齿轮(1006)、滑动块(1007)和切割刀(1008)，所述支撑架(1001)的顶部固定连接有连接杆(1002)，所述连接杆(1002)远离支撑架(1001)的一端与圆盘(9)固定连接，所述支撑架(1001)的底部转动连接有螺纹杆(1003)，所述螺纹杆(1003)的中部固定连接有从动齿轮(1006)，所述从动齿轮(1006)的一侧啮合有主动齿轮(1005)，所述主动齿轮(1005)的中心处固定连接有转动杆(1004)，所述螺纹杆(1003)的两端均螺纹连接有滑动块(1007)，所述滑动块(1007)的底部设有切割刀(1008)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆贴底膜装置，其特征在于：所述支撑架(1001)的表面设有刻度，所述滑动块(1007)靠近支撑架(1001)的一侧设有指示箭头，所述连接杆(1002)远离支撑架(1001)的一端设有摇把(11)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴底膜装置，其特征在于：所述贴膜盘(2)的两侧均开设有适配槽(12)，所述适配槽(12)与升降框(6)相适配。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆贴底膜装置，其特征在于：所述转筒(703)的长度大于贴膜盘(2)的直径，所述转筒(703)的表面材质为橡胶材质。