[实用新型]加热装置和真空镀膜设备

权利要求书

1.一种加热装置，其特征在于，包括：

加热腔体，其内适于传送待加热件；

第一加热件，位于待加热件的上方和/或下方；以及

至少两个第二加热件，位于所述待加热件的传送方向的两侧。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述第一加热件包括多个平行排布的第一加热灯管；

所述第一加热灯管垂直于所述待加热件的传送方向。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，

所述第二加热件包括：

支撑件，设置于所述加热腔体的侧壁；

第二加热管，位于所述支撑件上；以及

所述第二加热管平行于所述待加热件的传送方向。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，

所述支撑件包括：

支撑部，用于从底部支撑所述第二加热管；

安装部，与所述支撑部连接，所述安装部用于固定所述第二加热管；

垫块，所述垫块用于放置在所述安装部与所述第二加热管之间；

其中，调整所述垫块的高度，以调节所述第二加热管的设置高度。

5.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，

所述第二加热件还包括：位于所述第二加热管和所述加热腔体侧壁之间的反射件；

所述反射件包括：

第一连接件，设置于所述加热腔体的侧壁上；

反射板，安装在所述第一连接件上且其安装位置可调。

6.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，

所述加热装置还包括：位于所述第二加热管远离所述加热腔体侧壁一侧的导热件；

所述导热件包括：

第二连接件，设置于所述加热腔体的侧壁上；

导热板，安装在所述第二连接件上且其安装位置可调；

所述导热板的厚度d满足1mm≤d≤5mm。

7.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，

所述第一加热灯管所在的平面与所述第二加热管所在的平面平行或为同一平面。

8.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，

所述加热装置还包括：用于传送所述待加热件通过加热腔体的传送组件；

所述第二加热管高于所述传送组件。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：

至少一个温度传感器，设置于所述第二加热件所在的加热腔体的侧壁上，所述至少一个温度传感器用于检测所述待加热件靠近所述第二加热件的一侧的温度。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至9中任一项所述的加热装置；

工艺腔体，用于对经过加热后的待工件进行工艺处理；

门阀，连接所述加热腔体与所述工艺腔体。