[实用新型]一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构

权利要求书

1.一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，它包含刻蚀台本体（1）、横向移动支座（2）和纵向移动支座（3），刻蚀台本体（1）的上侧左右对称固定有固定块（4），左侧的固定块（4）的左侧固定有横向驱动电机（5），横向驱动电机（5）的输出轴穿过该固定后，固定有驱动丝杆（6），驱动丝杆（6）的右端与右侧的固定块（4）通过轴承旋接设置，驱动丝杆（6）上通过螺纹旋转套设有横向移动支座（2），刻蚀台本体（1）上前后对称固定有滑轨（7），横向移动支座（2）通过其底部的槽体左右滑动设置在滑轨（7）上，横向移动支座（2）为“U”形结构设置，横向移动支座（2）中的后侧垂直端上固定有纵向驱动电机（8），纵向驱动电机（8）的输出轴穿过该垂直端后，固定有导向丝杆（9），导向丝杆（9）的前端通过轴承旋接设置在横向移动支座（2）中的前侧垂直端内，导向丝杆（9）上通过螺纹旋转套设有纵向移动支座（3），纵向移动支座（3）的底部左右对称固定有导轨（10），横向移动支座（2）中的水平端上左右对称开设有导槽（2-1），导轨（10）前后滑动设置在导槽（2-1）内；横向驱动电机（5）、纵向驱动电机（8）均与刻蚀机内的电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，其特征在于：所述的横向移动支座（2）内左右对称固定有导杆（11），纵向移动支座（3）前后滑动套设在导杆（11）上。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，其特征在于：所述的纵向移动支座（3）的左右两侧的上端均开设有开槽（3-1），开槽（3-1）的垂直端内壁上固定有一号电动推杆（12），一号电动推杆（12）的推动端上固定有限位架（13），限位架（13）为倒“L”形结构设置，限位架（13）中的水平端设置于纵向移动支座（3）的上方，且限位架（13）中的水平端的底部固定有二号电动推杆（14），二号电动推杆（14）的底部推动端上固定有压块（15），一号电动推杆（12）、二号电动推杆（14）均与刻蚀机内的电源连接。

4.根据权利要求3所述的一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，其特征在于：所述的压块（15）的底部固定有压垫（16）。

5.根据权利要求3所述的一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，其特征在于：所述的开槽（3-1）的底部贯通开设有限位槽（3-2），限位架（13）中的垂直端的底部固定有限位支块（17），限位支块（17）左右滑动设置在限位槽（3-2）内。