[实用新型]一种晶圆棒放置装置有效

专利信息
申请号: 202121098578.7 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN214672544U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 贡艺强;梁志慧;王猛;林雪龙;王晓鹏;李喜珍;邢玉军 申请(专利权)人: 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆棒 放置 装置
【说明书】:

实用新型提供一种晶圆棒放置装置,包括:若干支撑件;所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道;其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间,以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。本实用新型放置装置,结构设计合理,即可用于上料暂存也可用于中转暂存,适用于不同直径和长度的晶圆棒的运输,效率高且运输安全,防止出现磕碰或损伤,保证晶圆棒表面质量。

技术领域

本实用新型属于太阳能光伏晶体运输辅助设备技术领域,尤其是涉及一种晶圆棒放置装置。

背景技术

现有的截断机,将单晶晶圆长棒截断成若干段后,需要先将截断后的短的晶圆棒传送至储料区,由于晶圆长棒的长度不等,导致其截断后的晶圆短棒的长度也不等。截断之后的晶圆短棒需要送至一体切方机上进行去边皮开方,制成所需的单晶方棒,而一体切方机的传输线仅能满足一颗单晶储料的上料。现常通过人工搬运操作,人工搬运存在极大的安全隐患。如何设计一种晶圆棒放置装置,将晶圆棒从该放置装置上搬运移走上料,不仅提高生产效率,而且可保护晶圆棒外观质量,防止磕碰或损伤晶棒表面质量,同时还可与截断机一体连接互动。

还有现有生产过程中对于晶圆短棒的暂存放置也存在移动困难、与其它生产线配合不理想的技术问题,无法及时并稳定且安全地中转晶圆短棒。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆棒放置装置,尤其适用于晶圆棒的运输周转,解决了现有技术中上料或中转晶圆棒困难、生产效率低且安全风险大的技术问题。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:

一种晶圆棒放置装置,其特征在于,包括:

若干支撑件;

所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道;

其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间,以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。

优选地,还包括对应所述抓取空间位置设置的一个所述支撑件;

与所述抓取空间对应设置的所述支撑件能够在所述晶圆棒沿所述抓取空间两侧任一所述支撑件上的所述滑道滑动时与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件形成一条连续的所述滑道,以使所述晶圆棒横跨所述抓取空间并被架设于所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上;以及

能够在所述晶圆棒被放置在所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上后再远离所述晶圆棒,以使其所述抓取空间被留置,便于所述晶圆棒被抓取而移出所述滑道。

进一步的,还包括:

工作台;

所有所述支撑件均沿所述滑道长度方向同向与所述工作台连接;

其中置于所述抓取空间两侧的所述支撑件被固设于所述工作台上方且同排设置。

优选地,每个固设于所述工作台上方的所述支撑件中,在其所述滑道底部均至少设有一个止动插销。

优选地,与所述抓取空间对应设置的所述支撑件通过转轴被设于所述工作台下方,且可沿所述转轴旋转至所述工作台上的所述抓取空间内,以与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件同排形成连续的所述滑道。

进一步的,在所述工作台下方远离所述抓取空间一侧设有支撑插销一;

所述支撑插销一沿与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的长度方向滑动设置,以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件被固设于所述工作台下方。

进一步的,在所述工作台下方靠近所述抓取空间一侧设有支撑插销二;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司,未经内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121098578.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top