[实用新型]一种晶圆棒放置装置

权利要求书

1.一种晶圆棒放置装置，其特征在于，包括：

若干支撑件；

所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道；

其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间，以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，还包括对应所述抓取空间位置设置的一个所述支撑件；

与所述抓取空间对应设置的所述支撑件能够在所述晶圆棒沿所述抓取空间两侧任一所述支撑件上的所述滑道滑动时与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件形成一条连续的所述滑道，以使所述晶圆棒横跨所述抓取空间并被架设于所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上；以及

能够在所述晶圆棒被放置在所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上后再远离所述晶圆棒，以使其所述抓取空间被留置，便于所述晶圆棒被抓取而移出所述滑道。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，还包括：

工作台；

所有所述支撑件均沿所述滑道长度方向同向与所述工作台连接；

其中置于所述抓取空间两侧的所述支撑件被固设于所述工作台上方且同排设置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，每个固设于所述工作台上方的所述支撑件中，在其所述滑道底部均至少设有一个止动插销。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，与所述抓取空间对应设置的所述支撑件通过转轴被设于所述工作台下方，且可沿所述转轴旋转至所述工作台上的所述抓取空间内，以与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件同排形成连续的所述滑道。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，在所述工作台下方远离所述抓取空间一侧设有支撑插销一；

所述支撑插销一沿与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的长度方向滑动设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件被固设于所述工作台下方。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，在所述工作台下方靠近所述抓取空间一侧设有支撑插销二；

当与所述抓取空间对应设置的所述支撑件旋转至所述抓取空间位置时，所述支撑插销二和与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的端部配合设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件固定在所述工作台上方。

8.根据权利要求1-2、4-7任一项所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所有所述支撑件的长度可相同或不相同；

且所述抓取空间的长度和宽度均大于与其对应设置的所述支撑件的宽度和长度。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所有所述支撑件的所述滑道结构均相同。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所述滑道沿所述支撑件宽度方向可调整其间距，以支撑不同直径的所述晶圆棒的放置。