[实用新型]一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器有效
| 申请号： | 202120866405.9 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN215251160U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 冯昊;李建国;张王乐;惠龙飞;龚婷 | 申请（专利权）人： | 西安近代化学研究所 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 金艳婷 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 体积 可调 快速 沉积 反应器 | ||
1.一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，包括反应器腔室(1)和体积调节器(2)；
所述反应器腔室(1)上设置有进气口(101)、出气口(102)和样品取送口；
所述体积调节器(2)包括体积占空件(201)以及用于与反应器腔室(1)连接的连接部，所述体积占空件(201)的体积小于反应器腔室(1)的内腔体体积，且体积占空件(201)与反应器腔室(1)的内腔体底面之间设置有样品放置空间；
所述进气口(101)、出气口(102)均与所述的样品放置空间连通；所述样品取送口的尺寸与体积占空件(201)的尺寸匹配，所述连接部与样品取送口密封连接。
2.如权利要求1所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述样品取送口设置在反应器腔室(1)的顶部，所述进气口(101)和出气口(102)相对设置在反应器腔室(1)靠近其底部的侧壁上。
3.如权利要求1所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述连接部包括盖板(202)和螺栓，所述盖板(202)上设置有第一螺纹孔(203)和用于放置密封圈的第一密封圈槽(204)，所述第一螺纹孔(203)设置在第一密封圈槽(204)外；所述样品取送口处设置有法兰(103)，所述法兰(103)上设置有与第一螺纹孔(203)位置对应的第二螺纹孔(104)以及与第一密封圈槽(204)位置对应的第二密封圈槽(105)。
4.如权利要求3所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述盖板(202)与体积占空件(201)之间焊接或者通过螺柱(205)可拆卸连接。
5.如权利要求1至4任一项所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述体积占空件(201)为外部轮廓形状与反应器腔室(1)内壁轮廓匹配形状的中空件。
6.如权利要求1至4任一项所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述反应器腔室(1)上还设置有用于安装原位表征装置的原位表征接口(106)。
7.如权利要求1至4任一项所述的腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于，所述反应器腔室(1)上还设置有透视窗口。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
