[实用新型]一种硅片变间距切换机构

权利要求书

1.一种硅片变间距切换机构，其特征在于，包括间距调节机构、升降组件和直线模组；

所述升降组件能够带动所述间距调节机构沿所述直线模组移动；

所述间距调节机构包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件和第二吸附组件，所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于吸附或放置硅片。

2.如权利要求1所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述间距调节机构还包括与所述升降组件连接的调节安装板，所述第一吸附组件设在所述调节安装板上，所述第二吸附组件活动安装在所述调节安装板上，所述调节安装板上设有调节气缸，所述调节气缸连接并能够带动所述第二吸附组件相对所述第一吸附组件移动。

3.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的所述调节安装板上设有限位件，所述第二吸附组件能够与所述限位件相抵，当所述第二吸附组件与所述限位件相抵时，所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的间距等于硅片传输进花篮的双轨道之间的间距。

4.如权利要求3所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述限位件为缓冲器，所述调节安装板上设有限位安装座，所述缓冲器安装在所述限位安装座上。

5.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述第一吸附组件和所述第二吸附组件结构相同，均包括吸盘安装板和安装在所述吸盘安装板上的吸盘组，所述吸盘组包括两个相互连通的真空吸盘。

6.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述调节安装板上设有滑轨，所述滑轨上设有滑动座，所述第二吸附组件的吸盘安装板设在所述滑动座上，所述第二吸附组件的吸盘安装板上设有气缸连接座，所述调节气缸的伸缩端连接所述气缸连接座。

7.如权利要求1所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述升降组件包括升降安装板和设在所述升降安装板上的升降气缸，所述升降气缸连接并能够带动所述间距调节机构升降。

8.如权利要求7所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述升降安装板上设有电磁阀组，所述电磁阀组连接所述第一吸附组件和所述第二吸附组件。

9.如权利要求8所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述升降气缸安装在所述升降安装板底部一侧，所述电磁阀组安装在相对所述升降气缸一侧，所述电磁阀组与所述升降安装板之间设有电磁阀安装板。

10.如权利要求1-9中任一项所述的一种硅片变间距切换机构，其特征在于，所述直线模组包括直线导轨和伺服电机，所述直线导轨上设有移动座，所述伺服电机驱动所述移动座在所述直线导轨上移动，所述升降组件安装在所述移动座上。