[实用新型]一种改良的内引脚接合机轨道有效
| 申请号： | 202120628500.5 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN214588779U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 涂可嘉;刘明群;赵原;解兰翔 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改良 引脚 接合 轨道 | ||
1.一种改良的内引脚接合机轨道，包括直线导轨组件和弧形导轨组件，其特征在于，所述弧形导轨组件包括两根左右对应设置的弧形侧支撑轨一，两根侧支撑轨一相对的一侧均设置有弧形支撑台阶一，支撑台阶一上侧形成支撑面一，两根侧支撑轨一之间设置有两根左右对应的弧形主导轨一，主导轨一上沿长度方向依次排列设置有若干导向凸起，各导向凸起顶部与支撑面一相对应设置。
2.根据权利要求1所述的一种改良的内引脚接合机轨道，其特征在于，所述导向凸起顶部呈弧形，导向凸起的前后两侧均设置有倾斜面。
3.根据权利要求1或2所述的一种改良的内引脚接合机轨道，其特征在于，两根所述侧支撑轨一端部的背面固定连接有支撑板，支撑板上倾斜设置有至少两个支撑主导轨一的支撑柱。
4.根据权利要求1或2所述的一种改良的内引脚接合机轨道，其特征在于，所述直线导轨组件包括底板，底座上设置有两根左右对称的侧支撑轨二，两根侧支撑轨二相对的一侧均设置有支撑台阶二，支撑台阶二上侧形成支撑面二，底座上位于两根侧支撑轨二之间设置有主导轨二，主导轨二上沿长度方向依次排列设置有若干凸起的导向部，各导向部顶部与支撑面二相对应设置。
5.根据权利要求4所述的一种改良的内引脚接合机轨道，其特征在于，所述主导轨二通过若干间隔分布的紧固件与底板相固定，底板上开设有可容紧固件嵌入的沉孔。
6.根据权利要求4所述的一种改良的内引脚接合机轨道，其特征在于，所述主导轨二上方对应设置有挡尘板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
