[实用新型]真空镀膜用电极板以及包括该电极板的镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜用电极板(100)，包括电极板本体(110)和导电连接杆(120)，所述导电连接杆由所述电极板本体的一侧边延伸而出，其特征在于，还包括第一防护件(130)和第二防护件(140)，所述第一防护件和所述第二防护件分别贴附于所述电极板本体的相对的两个板面而遮蔽所述电极板本体。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一防护件和所述第二防护件的形状以及大小与所述电极板本体的形状以及大小相匹配。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一防护件和所述第二防护件的厚度为0.5mm至2mm。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一防护件和所述第二防护件卡扣连接。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述电极板本体呈四边形，所述第一防护件包括第一防护板(131)以及设置于所述第一防护板的相邻两侧边的第一卡扣边(132)和第一遮挡边(133)，所述第二防护件包括第二防护板(141)以及设置于所述第二防护板的相邻两侧边的第二卡扣边(142)和第二遮挡边(143)，所述第一防护板和所述第二防护板分别贴附于所述电极板本体的相对的两个板面，所述第一卡扣边、所述第一遮挡边、所述第二卡扣边以及所述第二遮挡边依次遮蔽所述电极板本体的四个侧边。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一卡扣边为所述第一防护件的上侧边，所述第一卡扣边呈倒L型连接在所述第一防护板的顶侧，所述第二卡扣边为所述第二防护件的下侧边，所述第二卡扣边呈L型连接在所述第二防护板的底侧，所述第一卡扣边卡扣连接所述第二防护板的顶侧，所述第二卡扣边卡扣连接所述第一防护板的底侧。

7.根据权利要求5所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一遮挡边为所述第一防护件的左侧边或右侧边，所述第一遮挡边连接在所述第一防护板的左侧或右侧并相对所述第一防护板弯折；所述第二遮挡边为所述第二防护件的右侧边或左侧边，所述第二遮挡边连接在所述第二防护板的右侧或左侧并相对所述第二防护板弯折。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一卡扣边具有供所述导电连接杆穿出的槽孔(132a)。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜用电极板，其特征在于，所述第一防护件与所述第二防护件与所述电极板本体的相对的两个板面之间分别通过胶带贴敷连接。

10.一种镀膜装置(10)，包括舱室(200)、工件架和多个电极板(100)，多个所述电极板包括连接不同电源极性的间隔设置于所述舱室内的射频电极板(100a)和接地电极板(100b)，所述工件架上间隔设置多个待镀膜产品，相邻的所述射频电极板和所述接地电极板之间容置一个所述待镀膜产品，其特征在于，所述电极板为上述权利要求1至9任一项所述的真空镀膜用电极板，所述真空镀膜用电极板通过所述导电连接杆连接在所述舱室内的顶部。