[实用新型]一种半导体基板的吹尘夹具有效
申请号: | 202120479501.8 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN214638732U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 冯磊 | 申请(专利权)人: | 威海明道精密机械有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00;B25B11/00 |
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地址: | 264211 山东省威海市临*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 夹具 | ||
本实用新型公开了一种半导体基板的吹尘夹具,包括,放置框;电动推杆,所述放置框的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆;固定板,所述电动推杆的底部之间固定焊接有固定板;吹尘机构,所述吹尘机构包括分布板、输送管、空压机、固定框、干燥层和喷气孔,所述放置框的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框,所述固定框相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机,所述固定框的内部固定安装有干燥层,所述固定框相邻的一侧居中处均固定插接有输送管,本实用新型有效的解决了现有的半导体基板的吹尘夹具不能根据半导体基板的高度调节吹尘机构与半导体基板之间的间距,从而降低了除尘的效率的问题。
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种半导体基板的吹尘夹具。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,其导电性可受控制,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,半导体基板是指半导体材料的支撑板,在半导体基板的生产过程中,为了保证半导体材料工作的稳定性,需要对其进行除尘处理。
但是,传统的在使用过程中存在一些弊端,比如:
现有的半导体基板的吹尘夹具不能根据半导体基板的高度调节吹尘机构与半导体基板之间的间距,从而降低了除尘的效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体基板的吹尘夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:包括,放置框;电动推杆,所述放置框的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆;固定板,所述电动推杆的底部之间固定焊接有固定板;吹尘机构,所述吹尘机构包括分布板、输送管、空压机、固定框、干燥层和喷气孔,所述放置框的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框,所述固定框相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机,所述固定框的内部固定安装有干燥层,所述固定框相邻的一侧居中处均固定插接有输送管,所述固定板的底部两侧均固定安装有分布板,所述输送管远离固定框的一端与分布板固定安装,所述分布板的底部开设有若干喷气孔;吸尘机构,所述固定板的顶部表面居中处固定安装有吸尘机构;夹持机构,所述放置框的内壁底部两侧均固定安装有夹持机构。
其中,所述吸尘机构包括安装框、固定管、抽风机和过滤网,所述放置框的顶部表面居中处固定焊接有安装框,所述安装框的内壁顶部居中处固定安装有抽风机,所述安装框的内壁之间并位于抽风机的底部固定安装有过滤网,所述安装框的底部固定插接有固定管,所述固定管的底部一侧贯穿放置框的顶部和固定板并延伸至固定板的外部,所述固定管延伸至固定板外部的一端固定安装有吸尘罩。
其中,所述夹持机构包括固定螺杆和夹持板,所述放置框的两侧均螺纹插接有固定螺杆,所述固定螺杆位于放置框内部的一端转动连接有夹持板。
其中,所述固定板的截面呈倒V字型的结构。
其中,所述干燥层包括干燥框、通气孔和干燥剂,所述固定框的内壁顶部和内壁底部之间固定安装有干燥框,所述干燥框的两侧均开设有若干通气孔,所述干燥框的内部填充有干燥剂。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
将半导体基板竖直放置与夹持板之间,然后转动固定螺杆,使得固定螺杆带动夹持板向相互靠近的方向移动,将半导体基板进行限位固定,然后启动电动推杆,使得电动推杆带动固定板在竖直方向上移动,调节固定板与半导体基板之间的间距,然后启动空压机和抽风机,空压机将外部的空气抽入固定框的内部,通过干燥层干燥后通过输送管输送至分布板的内部,最后有喷气孔喷出,喷至半导体基板的两侧,喷出的气流可将半导体基板表面灰尘吹起,抽风机在负压的作用下可以将吹落的灰尘通过固定管抽入安装框的内部,通过过滤网可以拦截过滤,从而可有效清除半导体基板表面的灰尘,满足使用需求。
附图说明
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