[实用新型]一种半导体基板的吹尘夹具

权利要求书

1.一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，包括：

放置框(1)；

电动推杆(4)，所述放置框(1)的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆(4)；

固定板(5)，所述电动推杆(4)的底部之间固定焊接有固定板(5)；

吹尘机构(2)，所述吹尘机构(2)包括分布板(21)、输送管(22)、空压机(23)、固定框(24)、干燥层(25)和喷气孔(26)，所述放置框(1)的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框(24)，所述固定框(24)相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机(23)，所述固定框(24)的内部固定安装有干燥层(25)，所述固定框(24)相邻的一侧居中处均固定插接有输送管(22)，所述固定板(5)的底部两侧均固定安装有分布板(21)，所述输送管(22)远离固定框(24)的一端与分布板(21)固定安装，所述分布板(21)的底部开设有若干喷气孔(26)；

吸尘机构(3)，所述固定板(5)的顶部表面居中处固定安装有吸尘机构(3)；

夹持机构(6)，所述放置框(1)的内壁底部两侧均固定安装有夹持机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述吸尘机构(3)包括安装框(31)、固定管(32)、抽风机(33)和过滤网(34)，所述放置框(1)的顶部表面居中处固定焊接有安装框(31)，所述安装框(31)的内壁顶部居中处固定安装有抽风机(33)，所述安装框(31)的内壁之间并位于抽风机(33)的底部固定安装有过滤网(34)，所述安装框(31)的底部固定插接有固定管(32)，所述固定管(32)的底部一侧贯穿放置框(1)的顶部和固定板(5)并延伸至固定板(5)的外部，所述固定管(32)延伸至固定板(5)外部的一端固定安装有吸尘罩。

3.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述夹持机构(6)包括固定螺杆(61)和夹持板(62)，所述放置框(1)的两侧均螺纹插接有固定螺杆(61)，所述固定螺杆(61)位于放置框(1)内部的一端转动连接有夹持板(62)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述固定板(5)的截面呈倒V字型的结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述干燥层(25)包括干燥框(251)、通气孔(252)和干燥剂(253)，所述固定框(24)的内壁顶部和内壁底部之间固定安装有干燥框(251)，所述干燥框(251)的两侧均开设有若干通气孔(252)，所述干燥框(251)的内部填充有干燥剂(253)。