[实用新型]晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人

说明书

本实用新型涉及晶圆搬运技术领域，具体公开了一种晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人。所述晶圆盒承载装置包括座体以及设置在所述座体上的承载平台；座体包括竖向延伸部，竖向延伸部具有第一侧端和第二侧端，第一侧端和第二侧端相背设置；第一侧端和第二侧端分别凸设有至少一个承载平台；承载平台上形成有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽。本实用新型提供的晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人可有效提高晶圆盒搬运的数量和效率，同时提高晶圆盒搬运机器人重心的平稳性，并可有效降低晶圆盒搬运的故障。

技术领域

本实用新型涉及晶圆搬运技术领域，尤其涉及一种用于晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人。

背景技术

晶圆具有厚度薄、重量轻、脆性大且对环境洁净对要求高等特点，为了降低晶圆被污染的风险，晶圆一般存放于晶圆盒内并通过晶圆盒进行运输。在传统技术中，晶圆盒在仓库、生产车间等室内的搬运一般通过人工进行搬运，其耗费的人力较多。

为了解决上述传统技术中的问题，现有技术提出了用于搬运晶圆盒的晶圆盒搬运机器人。在现有的晶圆盒搬运机器人中，一般是在自动导引车(英文全称：AutomatedGuided Vehicle，简称：AGV)上安装晶圆盒承载座，而晶圆盒承载座包括横向部和自横向部的顶部向上延伸的竖向部，在竖向部的一侧凸设有晶圆盒承载板，通过将晶圆盒装载在承载板上，从而实现对晶圆盒的搬运。但是采用这种现有的晶圆盒搬运机器人搬运晶圆，会存在以下不足之处：

(1)晶圆盒搬运机器人重心不稳。一方面，由于在自动导引车上安装的晶圆盒承载座只在竖向部的一侧凸设有晶圆盒承载板，晶圆盒搬运机器人的重心向竖向部一端偏移，为了使得重心稳，晶圆盒承载板的尺寸需设计得比较大或者晶圆盒承载板在自竖向部沿水平方向远离竖向部延伸的尺寸会超出自动导引车的尺寸，以维持晶圆盒搬运机器人空载时重心的稳定；另一方面，由于晶圆承载板凸设在竖向部的一侧，向晶圆盒承载板上装载晶圆盒时，会使得装载有晶圆盒一侧的变得越来越重，导致晶圆盒搬运机器人满载时重心不稳。这两方面都会导致整个晶圆盒搬运机器人的重心难以维持稳定。

(2)可搬运的晶圆盒数量有限，搬运效率不高。单侧设置的晶圆盒承载板所能装载的晶圆盒数量有限，而且由于晶圆的特性，不能将多个晶圆盒层叠在晶圆盒承载板上，导致每次搬运的数量有限，搬运效率不高。

(3)搬运容易出现故障。在晶圆盒承载板上水平装载晶圆盒，会使得晶圆盒承载板在水平方向的面积大于自动导引车在水平方向上的面积，最终使得晶圆盒搬运机器人在水平方向上的面积增大，在机器人工作时容易触碰到仓库、车间等室内的其他物体而导致故障。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的之一为提供一种晶圆盒承载装置，旨在解决现晶圆盒搬运机器人重心不稳、晶圆盒搬运效率不高、易发生搬运故障的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案如下：

晶圆盒承载装置，包括座体以及设置在所述座体上的承载平台；

所述座体包括竖向延伸部，所述竖向延伸部具有第一侧端和第二侧端，所述第一侧端和所述第二侧端相背设置；

所述第一侧端和所述第二侧端分别凸设有至少一个所述承载平台；

所述承载平台上形成有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽。

在一种可能的实施方式中，所述第一侧端上沿所述竖向延伸部之高度方向间隔分布有至少两个所述承载平台；

和/或，所述第二侧端上沿所述竖向延伸部之高度方向间隔分布有至少两个所述承载平台。

在一种可能的实施方式中，每个所述承载平台上都形成有至少两个沿水平方向分布的所述卡槽。