[实用新型]晶圆定位标示工具

说明书

本实用新型提供了一种晶圆定位标示工具，包括：至少两个固定杆，两个所述固定杆的一端连接在一起形成一公共端，所述固定杆的另一端设置有用于承载晶圆的承载工具；垂直杆，一端与所述公共端连接，另一端垂直向下延伸；至少一移动滑块，滑动套设于每个所述固定杆上；至少一标示杆，一端连接对应的移动滑块，另一端设置有标示工具并垂直向下延伸，所述标示杆可伸缩。本实用新型提高了晶圆表面标示的精确度且避免了对晶圆表面的污染。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆定位标示工具。

背景技术

多元素掺杂是半导体制造中不可缺少的一步，为了评价掺杂工艺的准确性及掺杂机台的稳定性，二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectroscopy)成为了不可缺少的关键分析仪器。二次离子质谱仪是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它通过高能量的一次离子束轰击晶圆表面，使晶圆表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子，通过质量分析器收集、分析这些二次离子，以分析晶圆中元素的掺杂量和掺杂深度等。

在目前普遍使用二次离子质谱仪前均需要对晶圆进行裂片处理，将晶圆分成多个，在多次裂片后往往会出现偏差，导致裂片位置与预计位置出现偏移，导致在使用二次离子质谱仪时出现偏差。目前定位标示使用的工具是直尺，这也会导致直尺与晶圆的表面出现大面积接触，极大可能会污染晶圆的表面，不利于后续分析晶圆的表面，降低检测的准确性。此外多次使用直尺定位增加了裂片时间，而且在对称位置进行标示时，使用直尺分开标示极有可能没有测量到对称位置，导致标示的精确度低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆定位标示工具，以提高标示的精确度且避免对晶圆表面的污染。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆定位标示工具，包括：

至少两个固定杆，两个所述固定杆的一端连接在一起形成一公共端，所述固定杆的另一端设置有用于承载晶圆的承载工具；

垂直杆，一端与所述公共端连接，另一端垂直向下延伸；

至少一移动滑块，滑动套设于每个所述固定杆上；

至少一标示杆，一端连接对应的所述移动滑块，另一端设置有标示工具并垂直向下延伸，所述标示杆可伸缩。

可选的，所述固定杆的长度大于所述垂直杆、所述标示杆的长度。

可选的，所述固定杆和所述垂直杆均可伸缩。

可选的，所述固定杆上设有数字刻度。

可选的，所述垂直杆垂直向下延伸的一端设置有标示工具。

可选的，所述标示工具为钻石笔。

可选的，所述承载工具与所述固定杆转动连接。

可选的，所述承载工具上设置有一缓冲垫，所述缓冲垫设置于所述承载工具与所述晶圆接触的表面上。

可选的，所述移动滑块上设置有螺纹孔，所述固定杆露出于所述螺纹孔，所述螺纹孔内设有一紧固件与所述螺纹孔螺纹连接。

可选的，所述固定杆与所述承载工具可拆卸连接，所述垂直杆与所述公共端可拆卸连接，所述移动滑块与所述标示杆可拆卸连接，所述标示杆与所述标示工具可拆卸连接。