[实用新型]一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备有效
| 申请号: | 202120275975.0 | 申请日: | 2021-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN216071589U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
| 发明(设计)人: | 戴超;李健乐;张淳;齐风;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号: | B65G1/04 | 分类号: | B65G1/04;B65G47/90 |
| 代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
| 地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 在线 切料座上晶棒 固化 料框式 自动化 仓储 设备 | ||
1.一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:包括龙门机械手、位于龙门机械手下方的固化缓存台(5)、用于对固化缓存台(5)上料的料车(6);
所述龙门机械手包括X轴、Y轴、Z轴三轴机械手,Z轴机械手上安装有夹爪(4);
Z轴机械手底部安装有安装板(42),夹爪(4)安装在安装板(42)上,夹爪(4)包括第一半卡爪(45)、第二半卡爪(46),所述第一半卡爪(45)、第二半卡爪(46)通过同一个电机驱动向双方向运动,所述夹爪(4)抓取料车(6)上的晶棒存储到固化缓存台(5)上。
2.根据权利要求1所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述安装板(42)两侧壁延伸有第一延伸板(43)、第二延伸板(44),所述第一延伸板(43)底部对称安装有两个第一限位块(431),所述第一半卡爪(45)顶部对称设有两个第一滑柱(451),所述第一限位块(431)为L型,所述第一滑柱(451)同样为L型,所述第一滑柱(451)与第一限位块(431)扣合。
3.根据权利要求2所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述第二延伸板(44)底部对称安装有两个第二限位块(441),所述第二半卡爪(46)顶部对称设有两个第二滑柱(452),所述第二限位块(441)为L型,所述第二滑柱(452)同样为L型,所述第二滑柱(452)与第二限位块(441)扣合。
4.根据权利要求2所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述电机为第四电机(41),第四电机(41)垂直安装在安装板(42)上,第四电机(41)的驱动轴贯穿安装板(42)后连接有驱动轮(49),所述第一延伸板(43)上的其中一个第一滑柱(451)上设有齿据,第一滑柱(451)与驱动轮(49)进行啮合,所述第二延伸板(44)上与第一滑柱(451)相对的第二滑柱(452)上同样设有齿据,第二滑柱(452)与驱动轮(49)进行啮合。
5.根据权利要求1所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述第一半卡爪(45)两侧壁上延伸有第一支臂(47),所述第二半卡爪(46)两侧壁上延伸有第二支臂(48),所述第一支臂(47)与第二支臂(48)位置错位。
6.根据权利要求1所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述X轴机械手包括X轴主架(1)、X轴从架(14),所述X轴主架(1)、X轴从架(14)上分别设有第一滑条(141),所述Y轴机械手包括Y轴主架(2),Y轴主架(2)两端分别设有第一滑板(12),第一滑板(12)底部分别设有与第一滑条(141)相对应的第一滑块,X轴主架(1)上还设有第一齿条(11),位于X轴主架(1)上的第一滑板(12)上安装有第一电机(13),第一电机(13)贯穿第一滑板(12)后连接有齿轮(131),齿轮(131)与第一齿条(11)啮合。
7.根据权利要求6所述的一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备,其特征在于:所述Y轴主架(2)的内侧壁上设有第二滑条(24)、第三滑条(26)、第二齿条(25),所述第二齿条(25)位于第二滑条(24)、第三滑条(26)之间,所述Y轴主架(2)侧壁上安装有第二滑板(21),第二滑板(21)上设有与第二滑条(24)、第三滑条(26)相对应的第三滑块(211)、第四滑块(212),第三滑块(211)、第四滑块(212)分别再第二滑条(24)、第三滑条(26)上滑动,所述第二滑板(21)上安装有第二电机(23),第二电机(23)转轴贯穿第二滑板(21)后连接有齿轮(131),齿轮(131)与第二齿条(25)进行啮合。
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