[实用新型]光伏电池双向进气钝化沉积装置

权利要求书

1.一种光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：具有一个主机室，主机室内至少具有一个工艺腔室（1），工艺腔室（1）的一端为炉口端（2），另一端为封闭的炉尾端（3），在工艺腔室（1）靠近炉口端（2）的位置上设有第一进气口（4），在工艺腔室（1）靠近炉口端（2）的位置上设有第一出气口（5），在工艺腔室（1）靠近炉尾端（3）的位置上设有第二进气口（6），在工艺腔室（1）靠近炉尾端（3）的位置或者炉尾上设有第二出气口（7）。

2.根据权利要求1所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：在工艺腔室（1）靠近炉口端（2）的侧壁上设有第一进气口（4），在工艺腔室（1）靠近炉口端（2）的底部设有第一出气口（5），在工艺腔室（1）靠近炉尾端（3）的侧壁上设有第二进气口（6）。

3.根据权利要求1所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：第一进气口（4）与第二出气口（7）相对应，第一进气口（4）与外部第一进气管路连通，第二出气口（7）与外部第二出气管路连通。

4.根据权利要求3所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：第二进气口（6）与第一出气口（5）相对应，第二进气口（6）与外部第二进气管路连通，第一出气口（5）与外部第一出气管路连通。

5.根据权利要求4所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：第二出气管路分为第一支路和第二支路，第一出气管路、第一支路和第二支路三路合并后与尾气处理装置连通。

6.根据权利要求5所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：第一出气管路上安装有真空阀，第二出气管路上安装有真空计后分为第一支路和第二支路，第一支路上安装有真空阀，第二支路上安装有真空阀。

7.根据权利要求5所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：三路合并方式采用先两路合并再与第三路合并，或者三路同时合并。

8.根据权利要求5所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：尾气处理装置为尾气处理罐。

9.根据权利要求5所述的光伏电池双向进气钝化沉积装置，其特征在于：尾气处理装置经尾气管路与真空泵连通，尾气管路在连通到真空泵之前安装有真空阀。