[发明专利]基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置在审
| 申请号： | 202111626072.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114512450A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张嘉伟;张泽磊;刘朝辉;王倩;秦司晨 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/20 | 分类号： | H01L23/20;H01L23/60 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 许志蛟 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 环保 绝缘 气体 芯片 静电 防护 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，其特征在于：包括密封的气体腔体，气体腔体内安装有气体浓度传感器，气体腔体上端的相对两侧分别设有进气口和出气口。
2.根据权利要求1所述的基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，其特征在于：所述气体腔体包括水平设置的基板，基板上方设有中空圆筒状的绝缘层，绝缘层的上端沿水平方向设有封装盖。
3.根据权利要求2所述的基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，其特征在于：所述气体浓度传感器通过螺丝连接在绝缘层的内侧，且螺丝未穿透绝缘层。
4.根据权利要求2所述的基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，其特征在于：所述封装盖和绝缘层均采用防静电导热材料。
5.根据权利要求2所述的基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，其特征在于：所述气体浓度传感器采用红外吸收光谱法传感器。
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