[发明专利]一种晶圆转运中枢装置

说明书

本发明属于晶圆转运中枢领域，公开了一种晶圆转运中枢装置，包括立柱、上驱动单元、晶圆抓取机器人、晶圆运输机构和多条运输链，所述晶圆抓取机器人连接在上驱动单元上，可沿上驱动单元运动；所述上驱动单元通过立柱与晶圆运输机构连接，所述晶圆运输机构上具有多个晶圆抓具，多个晶圆抓具分别运行至上料位，由晶圆抓取机器人分别将待分配晶圆分别放置在晶圆抓具上，晶圆抓具根据系统分配将晶圆运送至对应的运输链上。本发明的晶圆转运中枢装置在抓取过程中不直接接触晶圆表面，避免了对晶圆的污染；同时可根据不同生产需要，可以合理调配晶圆供给，降低了后续工序等待时间，提升了晶圆供应效率。

技术领域

本发明属于晶圆转运中枢领域，尤其涉及一种晶圆转运中枢装置。

背景技术

随着半导体技术在现代生活中的广泛应用，芯片需求也逐年递增。近几年，国家加大了对芯片上下游产业的政策扶持，使得芯片行业的技术更新得到了前所未有的关注。与此同时，提高芯片成型过程中各个环节的效率被视作提高产能最有效的办法。现有的晶圆转运过程具有效率低下，晶圆在传输过程中容易被污染等问题。因此，本发明提出一种晶圆转运中枢装置，可根据生产需要，灵活调配晶圆供给，极大提高晶圆供给效率，降低转运过程中的资源浪费。

发明内容

本发明目的在于提供一种晶圆转运中枢装置,以解决晶圆转运过程中效率低下、晶圆易被污染的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明的一种晶圆转运中枢装置的具体技术方案如下：

一种晶圆转运中枢装置，包括立柱、上驱动单元、晶圆抓取机器人、晶圆运输机构和多条运输链，所述晶圆抓取机器人连接在上驱动单元上，可沿上驱动单元运动；所述上驱动单元通过立柱与晶圆运输机构连接，所述晶圆运输机构上具有多个晶圆抓具，多个晶圆抓具分别运行至上料位，由晶圆抓取机器人分别将待分配晶圆分别放置在晶圆抓具上，晶圆抓具根据系统分配将晶圆运送至对应的运输链上。

进一步的，所述上驱动单元上具有安装板、所述安装板上固定有上环形导轨，所述上环形导轨上固定有上环形直线电机定子；所述晶圆抓取机器人的机器人壳体上端安装有上滑块组件和上直线电机动子，所述上滑块组件与上驱动单元连接；所述上滑块组件上对称布置有四个滚子，四个滚子夹持上环形导轨，所述上环形导轨嵌入滚子中间留有的凹槽，用于在垂直方向上限位及固定晶圆抓取机器人，所述上直线电机动子与上环形直线电机定子相对布置。

进一步的，所述机器人壳体底部具有抓具底板，气缸连接在所述抓具底板上，浮动接头与所述气缸连接；安装板与浮动接头固定连接，真空吸盘环形布置在安装板上，多个抓手固定座均布安装在抓具底板上，抓手固定座端部具有抓手，小电缸一端固定在抓手固定座上，另一端固定在抓手上。

进一步的，所述抓手掌心上有两个气流槽，抓手侧面具有气流口，所述气流口与气流槽相通，由空气压缩机从气流口输入气流，压缩空气由气流口经过气流槽，在晶圆与抓手之间形成涡流，避免晶圆与抓手直接接触。

进一步的，所述晶圆运输单元包括工作台，所述工作台上具有下安装板，所述下安装板上具有下环形导轨，所述下环形导轨上具有下环形直线电机定子，所述晶圆抓具下方具有下直线电机动子，多个晶圆抓具沿下环形导轨运动。

进一步的，所述机器人壳体上具有超声波雷达、天线和操作面板。

进一步的，所述下环形直线电机定子和下直线电机动子之间装有高精度绝对式编码器，可将动子和定子之间的相对位移转化为电信号，控制系统利用该电信号实时判定晶圆抓具的空间位置，对晶圆抓具和运输链的相对位置进行判定。

进一步的，所述晶圆抓取机器人具有2套。

进一步的，所述运输链为5条。

进一步的，所述晶圆抓具具有6套。