[发明专利]一种晶圆转运中枢装置

权利要求书

1.一种晶圆转运中枢装置，包括立柱（1）、上驱动单元（2）、晶圆抓取机器人（3）、晶圆运输机构（4）和多条运输链（5），所述晶圆抓取机器人（3）连接在上驱动单元（2）上，可沿上驱动单元（2）运动；所述上驱动单元（2）通过立柱（1）与晶圆运输机构（4）连接，其特征在于，所述晶圆运输机构（4）上具有多个晶圆抓具（405），多个晶圆抓具（405）分别运行至上料位，由晶圆抓取机器人（3）分别将待分配晶圆分别放置在晶圆抓具（405）上，晶圆抓具（405）根据系统分配将晶圆（312）运送至对应的运输链（5）上。

2.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述上驱动单元（2）上具有安装板（201）、所述安装板（201）上固定有上环形导轨（203），所述上环形导轨（203）上固定有上环形直线电机定子（202）；所述晶圆抓取机器人（3）的机器人壳体（303）上端安装有上滑块组件（301）和上直线电机动子（302），所述上滑块组件（301）与上驱动单元（2）连接；所述上滑块组件（301）上对称布置有四个滚子，四个滚子夹持上环形导轨（203），所述上环形导轨（203）嵌入滚子中间留有的凹槽，用于在垂直方向上限位及固定晶圆抓取机器人（3），所述上直线电机动子（302）与上环形直线电机定子（202）相对布置。

3.根据权利要求2所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述机器人壳体（303）底部具有抓具底板（307），气缸（308）连接在所述抓具底板（307）上，浮动接头（309）与所述气缸（308）连接；安装板（310）与浮动接头（309）固定连接，真空吸盘（311）环形布置在安装板（310）上，多个抓手固定座（313）均布安装在抓具底板（307）上，抓手固定座（313）端部具有抓手（314），小电缸（315）一端固定在抓手固定座（313）上，另一端固定在抓手（314）上。

4.根据权利要求3所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述抓手（313）掌心上有两个气流槽（316），抓手（313）侧面具有气流口（317），所述气流口（317）与气流槽（316）相通，由空气压缩机从气流口（317）输入气流，压缩空气由气流口（317）经过气流槽（316），在晶圆（312）与抓手（313）之间形成涡流，避免晶圆（312）与抓手（313）直接接触。

5.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述晶圆运输单元（4）包括工作台（401），所述工作台（401）上具有下安装板（402），所述下安装板（402）上具有下环形导轨（408），所述下环形导轨（408）上具有下环形直线电机定子（407），所述晶圆抓具（405）下方具有下直线电机动子（403），多个晶圆抓具（405）沿下环形导轨（408）运动。

6.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述机器人壳体（303）上具有超声波雷达（304）、天线（305）和操作面板（306）。

7.根据权利要求5所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述下环形直线电机定子（407）和下直线电机动子（403）之间装有高精度绝对式编码器，可将动子和定子之间的相对位移转化为电信号，控制系统利用该电信号实时判定晶圆抓具（405）的空间位置，对晶圆抓具（405）和运输链（5）的相对位置进行判定。

8.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述晶圆抓取机器人（3）具有2套。

9.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述运输链（5）为5条。

10.根据权利要求1所述的晶圆转运中枢装置，其特征在于，所述晶圆抓具（405）具有6套。