[发明专利]一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置在审
申请号: | 202111539124.3 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114242623A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 石华平;陈德林;范荣荣;陆欣辰;王剑平 | 申请(专利权)人: | 江苏友润微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 马晓敏 |
地址: | 225008 江苏省扬州市邗江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 封装 固晶机共晶 轨道 装置 | ||
1.一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,包括安装在固晶机机架上的轨道架(1),所述轨道架(1)的上表面固定有垫板(2);
轨道壳(3),所述轨道壳(3)固定在垫板(2)的上方,所述轨道架(1)关于轨道壳(3)的中心线对称设置,所述轨道壳(3)的中部设置有固晶开口(4),所述轨道壳(3)的后端开设有限定槽(20);
其特征在于,还包括:
隔热结构,所述轨道壳(3)的左右两端均设置有隔热结构,隔热结构包括塑料调节块(5)和伸缩隔热布(6),所述轨道壳(3)的左右两端均开设有调节轨(21);
氮气分散盒(7),所述氮气分散盒(7)固定在轨道壳(3)的上表面,所述氮气分散盒(7)的内侧设置有氮气输送盒(8),所述氮气输送盒(8)的前端固定安装有吹起管(9);
耐高温电动伸缩杆(10),所述耐高温电动伸缩杆(10)安装在轨道壳(3)的内部左右两端,且耐高温电动伸缩杆(10)的输出端连接固定有前端呈锯齿状结构的传动横条(11),所述传动横条(11)的前端啮合连接有耐高温空心盒(12),所述耐高温空心盒(12)的底端连通有耐高温空心支杆(13),所述耐高温空心盒(12)的顶端固定连接有顶端纵截面呈“T”字型结构的耐高温竖管(14);
第一加热板(15),所述第一加热板(15)安装在轨道壳(3)的内部底端,且第一加热板(15)的上方设置有第一传热板(16),所述第一传热板(16)的上表面固定有温度传感器(23),所述第一传热板(16)固定在轨道壳(3)的内壁上;
第二加热板(17),所述第二加热板(17)安装在轨道壳(3)的内部顶端,且第二加热板(17)的下方设置有第二传热板(18),所述第二传热板(18)固定在轨道壳(3)的内壁上;
温度控器(24),所述温度控器(24)安装在轨道壳(3)的右侧面。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述塑料调节块(5)的内部开设有螺孔,且塑料调节块(5)通过螺钉与轨道壳(3)固定连接,并且调节轨(21)的内部滑动安装有塑料调节块(5)。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述传动横条(11)后端纵截面呈“T”字型结构,且传动横条(11)的后端滑动安装在限定槽(20)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述耐高温空心盒(12)的后端呈锯齿状结构,且耐高温空心盒(12)等间距设置在轨道壳(3)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述耐高温空心支杆(13)的底端呈多孔状结构,且耐高温空心支杆(13)与轨道壳(3)构成转动结构。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述耐高温竖管(14)的顶端通过旋转密封圈(19)与氮气分散盒(7)相连接,且耐高温竖管(14)的顶端贯穿于轨道壳(3)的顶端。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路贴片封装固晶机共晶轨道控温装置,其特征在于:所述第一加热板(15)和第二加热板(17)的横截面均呈折线形结构,且第二加热板(17)的后侧面固定有隔热板(22),所述隔热板(22)固定在轨道壳(3)的内部顶壁上。
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