[发明专利]一种高效LED晶粒分选方法

说明书

本申请公开了一种高效LED晶粒分选方法，包括如下步骤：步骤1、在第一次分选时，将多个晶圆上不超过30颗的散Bin汇总至同一个指定等级内，且散Bin排满第一片蓝膜后，继续排放在下一片蓝膜上；步骤2、将蓝膜上的部分散Bin分选至对应的电性等级内，所有蓝膜上的剩余部分散Bin汇总后再分选，直至所有散Bin均被分选至对应的电性等级内。本申请实现了对不同晶圆上散Bin的一次性集中分选，减少了分选机换铁片(电性等级)的时间，增加了芯片产能。

技术领域

本发明涉及LED技术领域，具体地，涉及一种高效LED晶粒分选方法。

背景技术

在LED行业中，芯片分选是一道必不可少的工序，其具体操作为：在分选机的一端放置晶圆，而另一端摆放若干设有蓝膜的铁片，不同的铁片对应不同的电性范围，利用机械手臂将晶圆上的芯片挑拣出来并摆放在对应铁片的蓝膜上。由于机械手臂在作业时是按顺序依次挑拣晶粒的，而晶圆上位于同一区域内的N颗芯片的电性范围相同或相近，因此，当电性范围划分的等级不多时，抽拉铁片的次数也不多，而每次抽拉所耗费的时间也可忽略不计。但随着市场对电性范围需求的逐渐细化，同一晶圆上的晶粒需要被分选到越来越多的铁片上，特别是对于一些散Bin，即该芯片对应电性等级内所包含的芯片数量较少，在晶圆上出现的频率越来越高，对LED芯片的分类速度造成较大的影响。

例如，用ASM分选机对LED晶粒进行分选，对于包含5000颗芯片的某电性等级，仅需抽拉一次铁片(耗费30s)，每颗芯片的挑拣时间为50ms，而若进一步将这5000颗芯片进一步细分至10个电性等级内，则芯片挑拣时间不变，但需要额外增加9次抽拉铁片的时间，对于芯片产能来说意味着浪费严重。而在实际生产中，包含几个、十几个芯片的电性等级已经较为常见，所浪费的时间更多、更严重，但本行业技术人员尚未对此引起重视，也未提出针对性的解决方法。

综上所述，行业内需要一种新的芯片分选方案，减少因散Bin增多带来的产能下降问题。

发明内容

本申请的目的在于提供一种高效LED晶粒分选方法，在满足现有电性等级细分需求的同时提升芯片产能。本申请的技术方案如下：

一种高效LED晶粒分选方法，包括如下步骤：

步骤1、在第一次分选时将多个晶圆上的散Bin汇总至同一个指定等级内；

步骤2、将各个散Bin分选至对应的电性等级内。

在一些具体的实施例中，在所述步骤1中，多个晶圆上的散Bin排满第一片蓝膜后，继续排放在下一片蓝膜上；在所述步骤2中，对至少部分散Bin进行再分选：将蓝膜上的部分散Bin分选至对应的电性等级内，所有蓝膜上的剩余部分散Bin汇总后再分选。

在一些具体的实施例中，所述步骤1和步骤2中对于散Bin的汇总操作为：系统转档时，分选机系统监控落Bin数量，将落Bin数量不超过N颗的电性等级的等级号变为指定等级的等级号，同时保留各个散Bin的原始电性等级数据，N为预设的散Bin最大芯片数量。

在一些具体的实施例中，10≤N≤100。

在一些具体的实施例中，所述步骤2中的再分选次数为两次及以上。

本申请提供的技术方案至少具有如下有益效果：

本申请解决了散Bin分选时存在的晶粒拣选时间还没有分选机换铁片(电性等级)时间长的问题，减少了每片晶圆抽拉换Bin的次数，多片晶圆的散Bin全部汇总在一起后实质上每个散Bin的数量增加，规避了以往每个散bin都要抽拉换Bin但又只挑选几颗就退回的低效生产方式，确保每次换Bin时均可分选出较多数量的晶粒，节省下来的时间被用于分选晶粒，提高了生产效率，增加了产能，创造更多的经济效益。

具体实施方式