[发明专利]一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法在审
| 申请号: | 202111435226.0 | 申请日: | 2021-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN114141665A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | 郭祖福 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 刘伊旸;周晓艳 |
| 地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 消除 各区 均匀 差异 led 晶粒 分选 方法 | ||
本申请公开了一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法,包括如下步骤:步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级A的晶粒重新划分等级A1、A2……AN;步骤2、先将第一区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上,再将第二区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上,继续挑选下一区域,直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完;步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2,直至所有区域内原等级A的晶粒全部挑完。本申请通过将不同区域内的相同等级的晶粒进行交错循环排列,达到了产品混分的效果,减少了同一蓝膜上产品之间均值差异过大的现象。
技术领域
本发明涉及LED技术领域,具体地,涉及一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法。
背景技术
LED晶粒生产过程中需要对落入不同光电性能范围内的产品进行分级,即从晶圆上选取光电性能符合的部分晶粒转移到对应蓝膜上。目前市场上所有的分选机均采用传统的优先邻近挑拣法,以某一个晶粒为起点,按顺序将该区域内的晶粒依次排列在蓝膜上,这是因为不同晶粒在晶圆上的位置越靠近,其光电性能就越相近,该方法可以以最快的速度将相同等级的晶粒挑拣出来,生产效率最高。
但即使晶圆上落入同一光电性能等级内的不同区域之间也会存在厚度或其他均匀性差异,这就导致位于同一蓝膜的不同区域的晶粒之间也存在均匀性差异。而下游客户在购入LED晶粒进行深加工时,也是按照蓝膜上的排列顺序逐一使用晶粒的,反馈到产品上就是同一批次的不同产品之间,或者同一产品的不同发光区域之间存在肉眼可间的差异,影响产品质量和终端客户体验感。
综上所述,针对LED制造企业提出的产品一致性需求,本行业需要提出一种新的LED晶粒分选方案,以消除蓝膜上晶粒各区域间存在的均匀性差异。
发明内容
本申请的目的在于提供一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法,尽可能减小同一光电性能范围内产品分布不均导致的肉眼可见的差异性。本申请的技术方案如下:
一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法,包括如下步骤:
步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级A的晶粒重新划分等级A1、A2……AN;
步骤2、先将第一区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上,再将第二区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上,继续挑选下一区域,直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完;
步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2,直至所有区域内原等级A的晶粒全部挑完。
在一些具体的实施例中,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级A的晶粒划分为若干段,每一段所包含的晶粒数量相等,按顺序将各段内的晶粒分别标记为A1、A2……AN。
在一些具体的实施例中,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级A的晶粒划分为若干循环,每一循环的结构相同且包括若干节,每一节所包含的晶粒数量相等,按顺序将各节内的晶粒分别标记为A1、A2……AN。
在一些具体的实施例中,每一节所包含的晶粒数量为1~5个。
在一些具体的实施例中,重新划分等级后,同一区域内每个新等级对应的晶粒总数不超过50个。
本申请提供的技术方案至少具有如下有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





