[发明专利]一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法在审
| 申请号： | 202111435226.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114141665A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 郭祖福 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 刘伊旸;周晓艳 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 消除 各区 均匀 差异 led 晶粒 分选 方法 | ||
1.一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、将晶圆划分为若干区域，将各个区域内具有相同等级A的晶粒重新划分等级A1、A2……AN；
步骤2、先将第一区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上，再将第二区域内的A1等级晶粒排列在蓝膜上，继续挑选下一区域，直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完；
步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2，直至所有区域内原等级A的晶粒全部挑完。
2.根据权利要求1所述的消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法，其特征在于，所述步骤1中重新划分等级的过程如下：将同一区域内具有相同等级A的晶粒划分为若干段，每一段所包含的晶粒数量相等，按顺序将各段内的晶粒分别标记为A1、A2……AN。
3.根据权利要求1所述的消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法，其特征在于，所述步骤1中重新划分等级的过程如下：将同一区域内具有相同等级A的晶粒划分为若干循环，每一循环的结构相同且包括若干节，每一节所包含的晶粒数量相等，按顺序将各节内的晶粒分别标记为A1、A2……AN。
4.根据权利要求3所述的消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法，其特征在于，每一节所包含的晶粒数量为1～5个。
5.根据权利要求2～4中任意一项所述的消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法，其特征在于，重新划分等级后，同一区域内每个新等级对应的晶粒总数不超过50个。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
