[发明专利]一种光学特性建模方法和装置在审

专利信息
申请号: 202111425136.3 申请日: 2021-11-26
公开(公告)号: CN114065592A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 张晓雷;张厚道;施耀明 申请(专利权)人: 上海精测半导体技术有限公司
主分类号: G06F30/23 分类号: G06F30/23;G06F30/20;G06F17/16
代理公司: 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 代理人: 黄海霞
地址: 201700 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 特性 建模 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种光学特性建模方法,其特征在于,该方法包括:

将周期介质内的微结构在z方向上划分为N层薄片,N为正整数;

针对同一层微结构的薄片,执行如下处理:

获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域的几何信息;

根据所述几何信息,对所述周期空间进行划分,得到x方向划分的目标积分子区间和y方向划分的目标积分子区间;

计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹矩阵;

利用所述周期介质的介电系数的傅里叶系数和所述周期介质的介电系数的托普利兹矩阵进行严格耦合波分析,以实现所述周期介质的光学特性建模。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域的几何信息,包括:

获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域,并将所述各个封闭区域的边界表示为各个多边形;获取每个多边形顶点的x坐标和y坐标,构成各个封闭区域的几何信息,所述几何信息包括x坐标的集合和y坐标的集合。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,根据所述几何信息,对所述周期空间进行划分,得到x方向划分的目标积分子区间和y方向划分的目标积分子区间,包括:

将所述x坐标的集合和所述y坐标的集合中的坐标分别按照由大到小或者由小到大的顺序排列,顺序排列后的所述x坐标的集合和所述y坐标的集合中,各自任意相邻两个坐标构成候选积分子区间;

确定所述候选积分子区间是否为非均匀区间;获取所述候选积分子区间长度;

当所述候选积分子区间为非均匀区间,且所述候选积分子区间长度大于或等于预设步长时,将所述候选积分子区间划分为多个目标积分子区间;否则,将所述候选积分子区间作为一个目标积分子区间。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述确定所述候选积分子区间是否为非均匀区间,包括:

获取x方向上所述相邻两个坐标所构成的候选积分子区间的第一参考边界线和第二参考边界线,所述第一参考边界线和所述第二参考边界线为垂直于所述候选积分子区间的不重合的直线,并且所述第一参考边界线和所述第二参考边界线与所述候选积分子区间的交点不是所述候选积分子区间的端点;

获取所述第一参考边界线与所述多边形相交形成的第一边界交点的个数h,以及所述第二参考边界线与所述多边形相交形成的第二边界交点的个数k;

当h不等于k,则将所述候选积分子区间作为非均匀区间;或者,当h等于k且不等于零,获取所述第一边界交点的y坐标(α1,α2,...,αh),以及所述第二边界交点的y坐标(β1,β1,...,βk),其中,h个边界交点的y坐标和k个边界交点的y坐标均按照由大到小或者由小到大的顺序排列;以及Δ1=|α1-β1|+|α2-β2|+...+|αh-βk|大于或等于阈值,则将所述候选积分子区间作为非均匀区间;

当h等于k且等于零,将所述候选积分子区间作为均匀区间;

或者,当h等于k且不等于零,以及Δ1=|α1-β1|+|α2-β2|+...+|αh-βk|小于所述阈值,将所述候选积分子区间作为均匀区间。

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