[发明专利]一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统在审
申请号: | 202111303419.0 | 申请日: | 2021-11-05 |
公开(公告)号: | CN114121726A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 王勇文;余九兵 | 申请(专利权)人: | 星源电子科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/52 |
代理公司: | 合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34159 | 代理人: | 李玉宁 |
地址: | 518132 广东省深圳市光明区玉塘街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 micro led 芯片 加工 封装 系统 | ||
1.一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,包括工作台(1)和固定在工作台(1)两端的加工台(4),其特征在于,所述工作台(1)上设有用以防护加工台(4)的防护组件,位于工作台(1)一端的加工台(4)内部装载有多个基板,位于工作台(1)另一端的加工台(4)内部装载有多个芯片,所述工作台(1)的上方设有顶板(2),所述顶板(2)上设有用以驱动芯片进行位移的驱动组件,所述工作台(1)的两端固定有多个液压缸(3),所述液压缸(3)的活塞端固定在顶板(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述防护组件包括套设在加工台(4)外部的防护壳(5),所述防护壳(5)与工作台(1)滑动配合,所述防护壳(5)开设有多个操作槽(13),所述操作槽(13)两端的内壁铰接有用以封闭操作槽(13)的封闭板(14),所述封闭板(14)的铰接端固定有多个连接弹簧(15),所述连接弹簧(15)的另一端固定在操作槽(13)的内壁上。
3.根据权利要求2所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述驱动组件包括位于工作台(1)和顶板(2)之间的吸附筒(6),所述吸附筒(6)与操作槽(13)滑动配合,所述顶板(2)的顶部固定有抽气泵(7),所述抽气泵(7)的抽气嘴安装有吸气管(8),所述吸气管(8)的另一端与吸附筒(6)相连通,所述顶板(2)一端的内壁固定有步进电机(9),所述步进电机(9)的输出端传动连接有丝杆(10),所述丝杆(10)的另一端通过轴承转动连接在顶板(2)另一端的内壁上,所述吸附筒(6)的外侧铰接有驱动板(12),所述驱动板(12)远离吸附筒(6)的一端铰接有螺纹套接在丝杆(10)外壁上的驱动套(11)。
4.根据权利要求3所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述吸附筒(6)尾端的两侧内壁开设有装载槽(22),所述装载槽(22)的内部滑动连接有用以封闭吸附筒(6)开口的封闭块(23),所述装载槽(22)端部的内壁固定有多个液压杆(24),所述液压杆(24)的活塞端固定在相应的封闭块(23)上。
5.根据权利要求4所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述吸附筒(6)的外部活动套设有防护套(16),所述防护套(16)两侧的内壁固定有滑块(17),所述吸附筒(6)的外侧开设有与滑块(17)相对应的滑槽(18),所述滑块(17)滑动连接在相应的滑槽(18)内部,位于滑槽(18)内部的滑块(17)开设有连接孔(19),所述连接孔(19)的内部滑动穿设有导向杆(20),所述导向杆(20)的两端固定在滑槽(18)端部的内壁上,所述导向杆(20)的外部套设有复位弹簧(21),所述复位弹簧(21)的一端固定在滑块(17)上,所述复位弹簧(21)的另一端固定在滑槽(18)的内壁上。
6.根据权利要求5所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述防护套(16)尾端的直径大于操作槽(13)槽口的直径,所述吸附筒(6)的尾端固定有橡胶垫(25),所述橡胶垫(25)远离吸附筒(6)的一侧开设有防滑纹。
7.根据权利要求3所述的一种用于Micro-LED芯片加工的封装系统,其特征在于,所述防护壳(5)的两端设有开设在工作台(1)上的滑动槽(26),所述滑动槽(26)的内部滑动连接有滑动块(27),所述防护壳(5)的两端均固定有联动块(28),所述联动块(28)远离防护壳(5)的一侧固定在相应的滑动块(27)上,所述联动块(28)与滑动槽(26)的槽口滑动配合,所述滑动块(27)的内部螺纹穿设有螺柱(29),所述螺柱(29)转动连接在滑动槽(26)的内壁上,所述螺柱(29)的外壁固定套接有蜗轮(30),所述蜗轮(30)的一侧啮合有蜗杆(31),所述蜗杆(31)的一端转动连接在滑动槽(26)的内壁上,所述蜗杆(31)的另一端贯穿出工作台(1)的外部、并滑动套设有连动套(32),所述连动套(32)嵌装在顶板(2)上,位于顶板(2)上方的蜗杆(31)外壁开设有螺纹、并与连动套(32)螺纹配合。
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