[发明专利]用于处理基板的装置和方法

权利要求书

1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：

传输部；

第一传输机械手和第二传输机械手，所述第一传输机械手和所述第二传输机械手设置在所述传输部的纵向方向上；

液体处理部，所述液体处理部设置在所述传输部的一侧处、以通过将液体供应到所述基板来将所述液体施用到所述基板；以及

热处理部，所述热处理部设置在所述传输部的相对侧、以面向第一工艺处理部，并且所述热处理部配置为相对于所述基板执行热处理，

其中，所述热处理部包括：

冷却传输模块，所述冷却传输模块设置为在所述第一传输机械手与所述第二传输机械手之间传输所述基板并冷却所述基板。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述冷却传输模块设置在边界处，在所述边界处、所述第一传输机械手的第一移动通道与所述第一传输机械手的第二移动通道相遇。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述冷却传输模块包括：

壳体，所述壳体具有设置在所述传输部的所述纵向方向上的第一区域和第二区域；以及

传输板，所述传输板设置在所述壳体的内侧、以在所述第一区域与所述第二区域之间传输所述基板。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一区域设置在第一基板传输区域中，所述第一传输机械手能进入到所述第一基板传输区域，并且

其中，所述第二区域设置在第二基板传输区域中，所述第二传输机械手能进入到所述第二基板传输区域。

5.根据权利要求3所述的装置，其中，所述壳体包括：

第一开口，所述第一开口邻近所述第一区域，其中，将所述基板通过所述第一传输机械手引入至所述第一开口或从所述第一开口取出；以及

第二开口，所述第二开口邻近所述第二区域，其中，将所述基板通过所述第二传输机械手引入至所述第二开口或从所述第二开口取出。

6.根据权利要求3所述的装置，其中，所述冷却传输模块包括：

冷却单元，所述冷却单元用于冷却所述基板；以及

其中，所述冷却单元设置在所述第一区域和所述第二区域中的至少一者中。

7.根据权利要求3所述的装置，其中，所述传输板包括：

冷却通道，所述冷却通道形成在所述传输板中，使得用于冷却所述基板的冷却剂穿过所述冷却通道。

8.根据权利要求3所述的装置，其中，所述液体处理部包括：

第一液体处理腔室，所述第一液体处理腔室设置在所述第一传输机械手能进入到的移动通道上、以执行将第一液体施用到所述基板的工艺；以及

第二液体处理腔室，所述第二液体处理腔室设置在所述第二传输机械手能进入到的移动通道上、以将第二液体施用到所述基板。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第一液体为用于在所述基板上形成增透膜的液体；以及

其中，所述第二液体为用于在形成于所述基板上的所述增透膜上形成光刻胶膜的液体。