[发明专利]一种卷盘烘烤治具在审
申请号: | 202111213004.4 | 申请日: | 2021-10-19 |
公开(公告)号: | CN113948428A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 田周 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B65H75/50 |
代理公司: | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人: | 张丽园 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 烘烤 | ||
1.一种卷盘烘烤治具,其特征在于,包括:
底板,所述底板包括板体,所述板体的内侧固定设置有多个螺帽;
盖板,所述盖板包括盖体,所述盖体上固定设置有多个定位块,所述定位块的中心处开设有螺纹孔,所述定位块上螺纹连接有固定件;
矫正挡块,所述矫正挡块包括第一矫正半块和第二矫正半块,所述第一矫正半块的上下两侧均设置有卡锁件,所述第二矫正半块的上下两侧均固定连接有定位件;
所述底板、盖板和矫正挡块的中心处均开设有装配孔。
2.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述底板的外侧且对应螺帽的位置固定连接有定位环,所述底板的外侧对称固定连接有两个第一加强条。
3.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述盖板的外侧对称固定连接有两个第二加强条。
4.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述固定件包括定位轴,所述定位轴的一端固定连接有带动柄,所述定位轴表面的两端均设置有螺纹。
5.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述卡锁件包括固两个定块,两个所述固定块对称固定于所述第一矫正半块的端部,两个所述固定块之间转动连接有安装筒,所述安装筒的内部设置有连接筒,所述连接筒的顶部固定连接有拉动块,所述拉动块的一端贯穿安装筒且延伸至安装筒的外部,所述拉动块位于安装筒外部的一端固定连接有定位块,所述定位块的一侧设置为弧形面。
6.根据权利要求5所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述连接筒的内部设置有弹性件,所述安装筒的两侧均开设有滑槽,所述连接筒表面的两侧均固定连接有连接杆,所述连接杆的一端通过滑槽贯穿安装筒,所述连接杆的一端固定连接有拉环。
7.根据权利要求6所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,两个所述固定块之间的一侧固定连接有挡块。
8.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述第一矫正半块的两端均开设有卡孔。
9.根据权利要求1所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述定位件包括L形固定块,所述L形固定块上开设有条形腔。
10.根据权利要求6所述的卷盘烘烤治具,其特征在于,所述安装筒包括上半筒和下半筒,所述上半筒和下半筒之间转动连接,两个所述滑槽开设于所述下半筒表面的两侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥新汇成微电子股份有限公司,未经合肥新汇成微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111213004.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造