[发明专利]一种将功率器件与热沉柔性结合的结构及方法在审
申请号: | 202111204490.3 | 申请日: | 2021-10-15 |
公开(公告)号: | CN113990822A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 唐先胜;韩丽丽;王兆伟;宫卫华;王纪强;刘统玉 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院激光研究所 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373 |
代理公司: | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人: | 张俊涛 |
地址: | 272000 山东省济宁市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 器件 柔性 结合 结构 方法 | ||
1.一种将功率器件与热沉柔性结合的结构,包括功率器件(1)和热沉(3),其特征在于:
所述功率器件(1)的下方贴合有功率器件金属层(2),所述器件金属层(2)的下方贴合有热沉(3),所述热沉(3)为带孔结构的热沉,其下方贴合有热沉金属层(4),所述热沉金属层(4)的下方贴合有金属膜(5)。
2.根据权利要求1所述的功率器件与热沉柔性结合的结构,其特征在于:
所述热沉(3)的孔结构完全通透,贯穿热沉(3),孔的形状为圆形或方形。
3.根据权利要求1所述的功率器件与热沉柔性结合的结构,其特征在于:
所述金属膜(5)为电镀铜模或电镀铬膜。
4.根据权利要求1所述的功率器件与热沉柔性结合的结构,其特征在于:
所述功率器件金属层(2)和热沉金属层(4)的材料为金层或铝层或钛层或合金金属层。
5.根据权利要求1所述的功率器件与热沉柔性结合的结构,其特征在于:
所述热沉(3)为金属热沉或非金属热沉。
6.根据权利要求1所述的功率器件与热沉柔性结合的结构,其特征在于:
所述功率器件(1)为电力电子器件或大功率激光器或大功率LED。
7.一种基于权利要求1-6任意一项所述的将功率器件与热沉柔性结合的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1,将制备好还没进行封装的功率器件(1)以及具有孔结构的热沉(3)清洁干净;
S2,在功率器件(1)的背面制备得到功率器件金属层(2),同时在热沉(3)的一面制备的到热沉金属层(4);
S3,将功率器件(1)贴合在热沉(3)上,并且将其固定住;
S4,利用导电物质将热沉(3)孔洞内测、功率器件金属层(2)和热沉金属层(4)连接在一起;
S5,通过电镀处理,将功率器件(1)和热沉(3)结合成一个整体。
8.根据权利要求7所述的将功率器件与热沉柔性结合的方法,其特征在于:
所述S2中,热沉(3)为导电的金属热沉时,不需要进行制备热沉金属层(4),所述热沉(3)为不导电的绝缘热沉时,需要制备热沉金属层(4);
所述S3中,贴合的方法为,将功率器件(1)的金属层面通过蓝膜粘接贴合在热沉(3)的非金属层面,如果是导电热沉,则不需要考虑贴合在哪一面;
所述S4中,导电物质为银胶。
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