[发明专利]金属防护方法及应用在审
申请号: | 202111171976.1 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN113897591A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 刘忠范;王坤;亓月;程舒婷;程熠;李隽良 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/50 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 李华;崔香丹 |
地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 防护 方法 应用 | ||
1.一种金属防护方法,其特征在于,包括:
提供一金属材料;及
在所述金属材料表面通过等离子体增强化学气相沉积生长得到垂直石墨烯涂层。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述等离子体增强化学气相沉积的生长温度为500~800℃;升温速率为1℃/min~100℃/min;所述等离子体增强化学气相沉积的等离子体源功率为10W~500W。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述等离子体增强化学气相沉积的碳源气体选自甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、甲醇、乙醇中的一种或多种,所述碳源气体的流量为0.05sccm~100sccm;优选,还包括通入惰性气体或还原性气体于所述离子体增强化学气相沉积体系,所述惰性气体选自氩气和氮气中的一种或多种,所述还原性气体为氢气。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述等离子体源为射频、微波、直流等离子体源中的一种或其组合。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属材料的形态为块体、薄膜、箔材、纤维或泡沫。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属材料的材质为纯金属或合金。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属材料所含元素选自铝、铍、镉、钴、金、铪、铟、铱、铁、铅、钼、镍、铂、钯、铼、银、钽、钛、钨、钒、锌、锆、铋、铜、锰、镁、铬、铑、钌、铝中的一种或多种。
8.一种装置,其特征在于,包括权利要求1-7任一项所述方法制备的结构。
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述垂直石墨烯涂层的厚度为10nm~100μm。
10.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述垂直石墨烯涂层中垂直石墨烯的横向尺寸为10nm~2μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京石墨烯研究院;北京大学,未经北京石墨烯研究院;北京大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111171976.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的