[发明专利]一种PERC电池及其制备方法在审
申请号: | 202111094625.5 | 申请日: | 2021-09-17 |
公开(公告)号: | CN113851557A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 郑云龙;彭彪;鲁传磊;朱浩 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;C23C16/40;C23C16/34;C23C16/50 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 衡滔 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 perc 电池 及其 制备 方法 | ||
本申请涉及一种PERC电池及其制备方法,属于太阳能电池的制备技术领域。PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,其制备方法包括:形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm;形成的背面氮化硅层的厚度小于125nm。既可以在一定程度上改善绕镀色差的问题,又可以对背面钝化层形成较好的保护,得到性能较佳、外形美观的电池片。
技术领域
本申请涉及太阳能电池的制备技术领域,且特别涉及一种PERC电池及其制备方法。
背景技术
现有技术中,在生产完成PERC电池后,总是会出现PERC电池的正面外观具有色差的问题,其主要提现在:电池片边缘发白或发黄,与电池片中间的颜色差异较大,形成正面色差,电池片的外观异常,组件层压时会导致外观色差降级。
发明内容
针对现有技术的不足,本申请实施例的目的包括提供一种PERC电池及其制备方法,以改善电池片正面色差的问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种PERC电池的制备方法,PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,制备方法包括:形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm;形成的背面氮化硅层的厚度小于125nm。
发明人研究发现,现有技术中,在对PERC电池进行背面镀氮化硅层的时候,会在硅片正面的边缘造成一定的正面绕镀,然后再进行正面镀膜,最终得到的PERC电池的正面会存在绕镀色差。当背面镀膜的氮化硅层的厚度较小的时候,正面绕镀的量会减小,最终会改善正面的绕镀色差的问题。但是,如果氮化硅层的厚度过小,又可能出现不能够对钝化层进行保护的问题。
发明人继续研究发现,如果形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm,且背面氮化硅层的厚度小于125nm,既可以在一定程度上改善绕镀色差的问题,又可以对背面钝化层形成较好的保护,得到性能较佳、外形美观的电池片。
在本申请的部分实施例中,形成的背面氮化硅层的厚度为95-124nm。背面氮化硅层的厚度较薄,可以减少背面镀氮化硅层时形成的正面绕镀的量,以改善正面的绕镀色差。
在本申请的部分实施例中,形成的背面氮化硅层的折射率为2.13-2.20。背面氮化硅层折射率高、致密性高,高折射率的氮化硅膜具有高消光特性,镀膜时绕镀到正面的氮化硅膜也具有一定的消光特性,能够减少反射,可以使电池片的外观成像上让边缘变暗,整体外观成像会更加均匀,尤其组件层压后整体颜色一致,外观美观。
在本申请的部分实施例中,先将硅片置于饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层,然后将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行正面镀膜以形成正面氮化硅层;其中,石墨舟处于饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5-0.9)×A1。
现有技术中,管式镀膜主要是石墨舟中进行,在镀膜过程中,石墨舟不仅起载体的作用,还作为电极的一部分,所以,在镀膜之前,会对石墨舟表面进行预处理,且预处理要求较高,通常对石墨舟进行饱和(镀氮化硅层),饱和以后,可以改善石墨舟表面状态,以避免电池片在镀膜过程中导致EL问题。
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