[发明专利]一种PERC电池及其制备方法在审
| 申请号： | 202111094625.5 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113851557A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 郑云龙;彭彪;鲁传磊;朱浩 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216;C23C16/40;C23C16/34;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 衡滔 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种PERC电池的制备方法，其特征在于，PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极，所述制备方法包括：
形成所述背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm；形成的所述背面氮化硅层的厚度小于125nm。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，形成的所述背面氮化硅层的厚度为95-124nm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，形成的所述背面氮化硅层的折射率为2.13-2.20。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，先将硅片置于饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层，然后将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行正面镀膜以形成正面氮化硅层；其中，石墨舟处于饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1，石墨舟处于欠饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5-0.9)×A1。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，石墨舟处于欠饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5-0.7)×A1。
6.一种PERC电池的制备方法，其特征在于，先将硅片置于饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层，然后将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行正面镀膜以形成正面氮化硅层；其中，石墨舟处于饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1，石墨舟处于欠饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5-0.9)×A1。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，石墨舟处于欠饱和状态时，石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5-0.7)×A1。
8.一种PERC电池的制备方法，其特征在于，PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极，所述制备方法包括：形成的所述背面氮化硅层的折射率为2.13-2.20。
9.一种PERC电池，其特征在于，所述PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极，所述背面电极处的背面腐蚀宽度≤60μm；所述背面氮化硅层的厚度小于125nm。
10.根据权利要求9所述的PERC电池，其特征在于，所述背面氮化硅层的厚度为95-124nm；所述背面氮化硅层的折射率为2.13-2.20。
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