[发明专利]原子层沉积装置

说明书

本发明涉及一种原子层沉积装置，包括：反应容器，反应容器的内部形成反应腔体；进气组件，进气组件包括进气件，进气件与反应容器连接，进气件上设置有能够与反应腔体连通的进气口；出料组件，出料组件包括出料塞与出料管，出料管与反应容器连接，出料塞设置于出料管的内部，出料塞位于与反应腔体连通的出料口的下方，出料塞与出料管之间形成供粉料流出的出料通道；驱动件，驱动件与出料塞连接，驱动件用于驱动出料塞沿竖直方向移动，以使出料塞与出料口接触或分离。该原子层沉积装置中通过出料组件实现出料口的打开与封堵，出料口处不易出现堵塞，出料较为顺畅。

技术领域

本发明涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及原子层沉积装置。

背景技术

原子层沉积是一种超薄膜制备技术，通过该技术可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面。原子层沉积时形成的薄膜厚度非常小，可以达到纳米级别，且一致性较好，因此被广泛应用于微纳米电子器件与太阳能电池等领域。原子层沉积时，通常将前驱体通入反应腔内，当其通过反应腔时包裹于粉末表面，以完成沉积包覆，沉积结束后，打开出料口的插板阀，将粉末取出。然而，粉末经常会进入插板阀内部，导致插板阀失效，无法顺畅的出料，出料口出现堵塞。

发明内容

基于此，本发明提出一种原子层沉积装置，通过出料组件实现出料口的打开与封堵，出料口处不易出现堵塞，出料较为顺畅。

原子层沉积装置，包括：

反应容器，所述反应容器的内部形成反应腔体；

进气组件，所述进气组件包括进气件，所述进气件与所述反应容器连接，所述进气件上设置有能够与所述反应腔体连通的进气口；

出料组件，所述出料组件包括出料塞与出料管，所述出料管与所述反应容器连接，所述出料塞设置于所述出料管的内部，所述出料塞位于与所述反应腔体连通的出料口的下方，所述出料塞与所述出料管之间形成供粉料流出的出料通道；

驱动件，所述驱动件与所述出料塞连接，所述驱动件用于驱动所述出料塞沿竖直方向移动，以使所述出料塞与所述出料口接触或分离。

在其中一个实施例中，所述出料塞能够在所述驱动件的驱动下伸入所述出料口以封堵所述出料口，所述出料塞包括用于封堵所述出料口的落料面，所述落料面呈圆锥面，且所述落料面的径向尺寸从上至下逐渐增大。

在其中一个实施例中，所述出料口设置于所述进气件上，所述出料管设置于所述进气件的内部，所述出料管与所述进气件连接，所述出料管与所述进气件之间形成供气体流入的进气通道，所述进气通道与所述进气口连通。

在其中一个实施例中，所述进气组件还包括风帽，所述风帽与所述进气口连接，所述风帽上设有送气口；所述进气通道内进气时，所述送气口打开并与所述反应腔体连通；所述进气通道内停止进气时，所述送气口封闭。

在其中一个实施例中，所述风帽包括内管、外管与阻挡件，所述外管间隔设置于所述内管的外部，所述阻挡件位于所述内管与所述外管之间，所述阻挡件与所述外管接触，且所述阻挡件被所述内管支撑，所述内管的底部与所述进气口连通，所述内管的顶部设置有通孔，所述外管的侧壁设置有所述送气口；所述进气通道内停止进气时，所述阻挡件与所述内管的顶部接触以封堵所述通孔，且所述阻挡件遮挡所述送气口；所述进气通道内进气时，所述阻挡件被气体推动而与所述通孔分离，且所述阻挡件与所述送气口分离。

在其中一个实施例中，所述风帽包括内管与外管，所述外管套设于所述内管的外部且被所述内管支撑，所述内管的底部与所述进气口连通，所述内管的顶部设置有通孔；所述进气通道内停止进气时，所述外管与所述内管的顶部接触以封堵所述通孔，且所述外管的底部与所述进气件接触；所述进气通道内进气时，所述外管被气体推动而与所述通孔分离，且所述外管与所述进气件分离，所述外管与所述进气件之间的间隙形成所述送气口。