[发明专利]原子层沉积装置

权利要求书

1.原子层沉积装置，其特征在于，包括：

反应容器，所述反应容器的内部形成反应腔体；

进气组件，所述进气组件包括进气件，所述进气件与所述反应容器连接，所述进气件上设置有能够与所述反应腔体连通的进气口；

出料组件，所述出料组件包括出料塞与出料管，所述出料管与所述反应容器连接，所述出料塞设置于所述出料管的内部，所述出料塞位于与所述反应腔体连通的出料口的下方，所述出料塞与所述出料管之间形成供粉料流出的出料通道，其中，所述出料口设置于所述进气件上，所述出料管设置于所述进气件的内部，所述出料管与所述进气件连接，所述出料管与所述进气件之间形成供气体流入的进气通道，所述进气通道与所述进气口连通；

驱动件，所述驱动件与所述出料塞连接，所述驱动件用于驱动所述出料塞沿竖直方向移动，以使所述出料塞与所述出料口接触或分离。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述出料塞能够在所述驱动件的驱动下伸入所述出料口以封堵所述出料口，所述出料塞包括用于封堵所述出料口的落料面，所述落料面呈圆锥面，且所述落料面的径向尺寸从上至下逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述进气组件还包括风帽，所述风帽与所述进气口连接，所述风帽上设有送气口；所述进气通道内进气时，所述送气口打开并与所述反应腔体连通；所述进气通道内停止进气时，所述送气口封闭。

4.根据权利要求3所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述风帽包括内管、外管与阻挡件，所述外管间隔设置于所述内管的外部，所述阻挡件位于所述内管与所述外管之间，所述阻挡件与所述外管接触，且所述阻挡件被所述内管支撑，所述内管的底部与所述进气口连通，所述内管的顶部设置有通孔，所述外管的侧壁设置有所述送气口；所述进气通道内停止进气时，所述阻挡件与所述内管的顶部接触以封堵所述通孔，且所述阻挡件遮挡所述送气口；所述进气通道内进气时，所述阻挡件被气体推动而与所述通孔分离，且所述阻挡件与所述送气口分离。

5.根据权利要求3所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述风帽包括内管与外管，所述外管套设于所述内管的外部且被所述内管支撑，所述内管的底部与所述进气口连通，所述内管的顶部设置有通孔；所述进气通道内停止进气时，所述外管与所述内管的顶部接触以封堵所述通孔，且所述外管的底部与所述进气件接触；所述进气通道内进气时，所述外管被气体推动而与所述通孔分离，且所述外管与所述进气件分离，所述外管与所述进气件之间的间隙形成所述送气口。

6.根据权利要求3所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述进气组件包括多个所述风帽，其中一个所述风帽安装于所述出料塞的顶部，其余的所述风帽安装于所述进气件上，所述出料塞的内腔中空且侧壁上设置有与所述内腔连通的第一缺口，所述出料管的侧壁上设置有第二缺口；所述进气通道内进气时，所述第一缺口与所述第二缺口连通，所述进气通道内的部分气体依次流经所述第二缺口、所述第一缺口与所述内腔进入所述风帽，并经所述送气口流入所述反应腔体；所述出料塞移动至与所述出料口分离而出料时，所述第一缺口与所述第二缺口错开。

7.根据权利要求6所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述出料管的侧壁的内表面上设置有凸块，所述凸块抵持于所述出料塞的侧壁的外表面，所述第二缺口贯穿所述凸块与所述出料管的侧壁。

8.根据权利要求6所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述出料塞的侧壁的外表面上设置有凸块，所述凸块抵持于所述出料管的侧壁的内表面，所述第二缺口贯穿所述凸块与所述出料塞的侧壁。

9.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，还包括连接于所述驱动件与所述出料塞之间的传动组件，所述驱动件包括旋钮，所述传动组件包括齿轮与齿条，所述旋钮与所述齿轮通过连接杆连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述齿条与所述出料塞连接，所述齿轮与所述齿条均设置于所述进气件的内部，所述旋钮位于所述进气件的外部。

10.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述原子层沉积装置还包括出料罐、第一抽气管、第二抽气管，以及与所述第一抽气管、所述第二抽气管均连通的抽气泵，所述出料罐与所述出料通道连通，所述进气通道内进气时，所述第一抽气管与所述反应腔体连通，所述出料塞移动至与所述出料口分离而出料时，所述第二抽气管与所述出料罐连通。