[发明专利]一种利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法

权利要求书

1.一种利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）对金刚石膜表面进行清洁净化处理；

2）将聚碳硅烷微粉和金属氧化物微粉混合均匀获得混合微粉，然后使用二乙烯基苯作为溶剂和交联剂，配制成涂料；所述金属氧化物由ZrO、Al₂O₃、ZnO和MgO混合组成；

3）采用喷涂的方式将涂料均匀涂布于金刚石膜表面，涂布完成后固化成膜，即在金刚石膜表面获得金属氧化物涂层；

4）对涂覆有金属氧化物涂层的金刚石膜表面进行脉冲激光烧蚀；

步骤2）中，所述金属氧化物由等质量比的ZrO、Al₂O₃、ZnO和MgO混合组成；金属氧化物微粉粒度为1-10μm；

利用该方法形成的金刚石膜表面的金属氧化物涂层能将金刚石对激光的吸收率从10%~20%提高到90%。

2.如权利要求1所述利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法，其特征在于，步骤2）中，聚碳硅烷微粉和金属氧化物微粉的质量比为1-2:1。

3.如权利要求1所述利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法，其特征在于，步骤2）中，混合微粉和二乙烯基苯的质量比为1：0.5~0.7。

4.如权利要求1所述利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法，其特征在于，步骤3）中，采用普通空气喷涂法进行喷涂，空气压力为0.4MPa；喷涂完毕后，在室温放置5~8小时，然后在140~180℃下烘烤7~10小时固化成膜；控制涂层厚度为20~40μm。

5.如权利要求1所述利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法，其特征在于，步骤4）中，脉冲激光烧蚀采用预设扫描路径结合工件进给的方式进行，激光器平均功率为20w~50w；激光器光斑重叠率为75%~98%，金刚石膜样品的进给速度为40~100m/min。