[发明专利]防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片在审
申请号: | 202111052314.2 | 申请日: | 2021-09-08 |
公开(公告)号: | CN113763801A | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 史丽娜;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G09F3/02 | 分类号: | G09F3/02;H01L23/544;H01L21/67 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 马苗苗 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防伪 结构 制备 方法 芯片 | ||
本申请实施例公开了一种防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片,其中防伪结构包括:基底层;多个凸起结构,形成于所述基底层上,其中,用于制备所述凸起结构的材料的折射率大于1.4。当入射光照射在防伪结构上时,入射光会与多个凸起结构产生米氏共振现象,使得防伪结构的凸起结构上不同角度反射的光线不同,进而使得经由不同的角度看向防伪结构时会呈现不同的颜色,基于此即可实现防伪作用,本申请实施例提供的防伪结构基于结构色进行显色,无需依赖于颜料,分辨率高,使得防伪结构难以被仿制,且本申请实施例提供的防伪结构无需依赖于化学染料,能够降低对环境的污染。
技术领域
本申请实施例涉及显色技术领域,尤其涉及一种防伪结构、一种防伪结构的制备方法和一种芯片。
背景技术
防伪结构广泛地应用在很多商品上,其用于甄别产品是否属于假冒和仿冒。目前技术中大多是通过在产品上涂布颜料,通过颜料不同的色彩来进行防伪,但是传统颜料的分辨率低,导致目前的防伪结构容易被仿制,防伪性能差。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
为此,本发明的第一方面提供了一种防伪结构。
本发明的第二方面提供了一种防伪结构的制备方法。
本发明的第三方面提供了另一种防伪结构的制备方法。
本发明的第四方面提供了一种芯片。
有鉴于此,根据本申请实施例的第一方面提出了一种防伪结构,包括:
基底层;
多个凸起结构,形成于所述基底层上,其中,用于制备所述凸起结构的材料的折射率大于1.4。
在一种可行的实施方式中,所述基底层的材料和用于制备所述凸起结构的材料相同。
在一种可行的实施方式中,制备所述凸起结构的材料包括硅、二氧化钛、氧化铝和氧化铪中的至少一种。
在一种可行的实施方式中,所述凸起结构沿高度方向的截面为椭圆形;所述凸起结构的高度为140纳米至240纳米。
在一种可行的实施方式中,所述椭圆形的短轴直径为80纳米至240纳米;所述椭圆形的长轴直径为80纳米至240纳米,所述长轴直径的取值大于所述短轴直径的取值。
在一种可行的实施方式中,多个所述凸起结构在所述基底层上呈矩形阵列排布;其中,矩形阵列排布的X轴排布周期与Y轴排布周期相同,所述X轴排布周期和所述Y轴排布周期的取值为290纳米至310纳米。
在一种可行的实施方式中,防伪结构还包括:
金属层,覆盖在所述凸起结构背离于所述基底的一侧;
所述金属层的厚度为25纳米至35纳米。
在一种可行的实施方式中,制备所述金属层的材料包括金、银、铝和铬中的至少一种。
根据本申请实施例的第二方面提出了一种防伪结构的制备方法,用于制备上述任一技术方案所述的防伪结构,所述制备方法包括:
提供基底,用于制备所述基底的材料的折射率大于1.4;
对所述基底进行刻蚀,以在所述基底上形成多个凸起结构。
在一种可行的实施方式中,所述对所述基底进行刻蚀,以在所述基底上形成多个凸起结构的步骤包括:
在所述基底上设置金属掩膜层;
通过电子束光刻工艺刻蚀所述基底,以在所述基底上形成多个凸起结构。
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