[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 202110972671.4 | 申请日: | 2021-08-23 |
公开(公告)号: | CN113809202A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 张东威 | 申请(专利权)人: | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0236 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 225300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种制备太阳能电池的方法及太阳能电池,涉及太阳能光伏技术领域。其中,在制备过程中,先碱溶液双面抛光获得表面具有方块结构的硅片,再进行单面硼扩散,获得硼扩散层,再根据背面电极的印刷区域去除硼扩散层表面上对应的硼硅玻璃层,以及所述硅片上远离所述硼扩散层一侧的硼硅玻璃层,再进行双面制绒;再对硅片上远离硼扩散层一侧进行磷扩散,形成磷扩散层。此时,背表面上背面电极对应的印刷区域为绒面结构,其他区域为方块结构,绒面结构与背面电极形成良好接触,降低串阻,提高填充因子;方块结构表面平整能够更好地沉积钝化膜,使得成膜更致密,提升了钝化效果,有效提高开路电压,进一步提升效率。
技术领域
本发明涉及太阳能光伏技术领域,特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法。
背景技术
PERC(Passivated Emitter and Rear Cell,钝化发射极和背面电池)是一种通过在太阳能电池的背面添加电介质钝化层,如氧化铝/氮化硅层,以降低电池背面的复合损耗,从而提高电池转化效率的技术,由于其良好的转化效率、发电性能,得到了广泛的应用。
但是,随着工艺、设备技术的升级,PERC电池的效率提升遇到了瓶颈,如何改进PERC电池的结构以进一步提升PERC电池效率是目前亟需解决的问题。
发明内容
本发明提供一种太阳能电池及其制备方法,旨在进一步提升PERC电池效的转换效率。
第一方面,本发明实施例提供了一种太阳能电池的制备方法,该方法可以包括:
对硅片进行碱溶液双面抛光,获得表面具有方块结构的硅片;
对抛光后的所述硅片进行单面硼扩散,获得硼扩散层;
去除所述硼扩散层表面上印刷区域对应的硼硅玻璃层,以及所述硅片上远离所述硼扩散层一侧的硼硅玻璃层,所述印刷区域为丝网印刷制备背面电极的区域;
对去除硼硅玻璃层后的所述硅片进行双面制绒;
对制绒后的所述硅片上远离所述硼扩散层一侧进行磷扩散,形成磷扩散层。
可选地,所述硅片的厚度为150μm~180μm;
所述碱溶液采用浓度为3.5%~4.5%的氢氧化钾溶液。
可选地,所述去除所述硼扩散层表面上印刷区域对应的硼硅玻璃层,以及所述硅片上远离所述硼扩散层一侧的硼硅玻璃层,包括:
采用激光开膜去除硼扩散层表面上印刷区域对应的硼硅玻璃层,所述激光的功率13W~17W;
采用浓度为38%~42%的氢氟酸去除所述硅片上远离所述硼扩散层一侧的硼硅玻璃层。
可选地,所述对去除硼硅玻璃层后的所述硅片进行双面制绒,包括:
采用浓度为0.8%~1.2%的氢氧化钾溶液对去除硼硅玻璃层后的所述硅片进行双面制绒。
可选地,所述磷扩散层的方阻为45Ω/□~55Ω/□。
可选地,所述方法还包括对磷扩散后的所述硅片进行清洗、退火、钝化、丝网印刷以及烧结,其中:
所述对磷扩散后的所述硅片进行清洗,包括去除所述硅片表面上非印刷区域对应的硼硅玻璃层;
所述退火为在650℃~750℃的温度下对清洗后的所述硅片进行退火;
所述钝化包括在退火后的所述硅片接近硼扩散层的一侧制备氧化铝和氮化硅钝化膜,以及在退火后的所述硅片接近磷扩散层的一侧制备氧化硅和氮化硅钝化膜;
所述丝网印刷包括在所述氧化铝和氮化硅钝化膜的表面丝网印刷制备背面电极前体,以及在所述氧化硅和氮化硅钝化膜丝网印刷制备正面电极前体;
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H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的