[发明专利]多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法

说明书

本发明提供多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，包括设置在内筒锻件管内部的固定环和安装在视镜下法兰端部的盖板，固定环相对的两侧壁上对称开设有凹槽，凹槽内部套设有用于与内筒锻件管内壁紧密贴合的密封圈，固定环相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈进行限位的压盖，压盖端部与盖板侧壁相连接，本发明结构合理，漏气检测快捷有效，保证视镜焊缝质量，密封效果好，安装拆卸便捷。

技术领域

本发明是多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，属于视镜漏气检测用密封装置技术领域。

背景技术

多晶硅生产过程中，通过还原炉底盘的电极对炉内的阻性负载制备硅棒，硅棒的生长情况需要通过钟罩筒体上的视镜进行观察，视镜处焊缝质量严重影响设备安全，特别是视镜下法兰的两处焊缝，该处焊缝无法进行射线检测，因此为保证视镜焊缝质量需要在压力试验的基础上进行更严格的氦检漏试验，在对视镜下法兰的两处焊缝进行漏气检测时，需要用到视镜漏气检测用密封装置。

现有技术中，视镜漏气检测用密封装置在使用时，不能够快捷有效的对视镜下法兰的两处焊缝进行漏气检测，从而无法保证视镜焊缝的质量，且因内筒体锻件管上存在贯通的吹扫孔，无法使视镜下法兰与内筒锻件管连接处形成独立的密封腔体，密封效果不好，从而无法对焊缝处进行漏气检测，以及在漏气检测过程中不便于对密封装置进行安装拆卸，增加劳动成本，现在急需多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置来解决上述出现的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题，本发明结构合理，漏气检测快捷有效，保证视镜焊缝质量，密封效果好，安装拆卸便捷。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，包括设置在内筒锻件管内部的固定环和安装在视镜下法兰端部的盖板，所述固定环相对的两侧壁上对称开设有凹槽，所述凹槽内部套设有用于与内筒锻件管内壁紧密贴合的密封圈，所述固定环相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈进行限位的压盖，所述压盖端部与盖板侧壁相连接。

进一步地，所述密封圈远离固定环的一侧为唇形结构，内筒锻件管内壁设置有一对衔接槽，所述衔接槽与密封圈的唇形侧壁相贴合。

进一步地，所述固定环、密封圈、压盖分别与内筒锻件管内壁之间留有间隙。

进一步地，视镜下法兰远离内筒锻件管的一侧安装有贯穿盖板的螺纹柱，所述盖板上安装有依次贯穿压盖、固定环的螺栓，所述螺栓和螺纹柱上均安装有螺母。

进一步地，视镜下法兰与盖板之间形成第一气室，视镜下法兰与内筒锻件管之间形成第二气室，所述盖板远离内筒锻件管的一端开设有与第一气室相连通的检漏孔，所述内筒锻件管上开设有连通第二气室和密封圈的吹扫孔，所述吹扫孔置于相邻的衔接槽之间。

进一步地，视镜下法兰侧壁上开设有与第二气室相连通的进气孔，所述进气孔内部安装有管接头。

进一步地，视镜下法兰分别与内筒锻件管、管接头连接处设置有焊缝。

多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的使用方法，包括以下步骤：

步骤（A）.对视镜下法兰与内筒锻件管连接处进行密封；

步骤（B）.对视镜下法兰与内筒锻件管连接处进行气密性检测。

进一步地，步骤（A）具体包括如下

（A1）.将密封圈套设在固定环的凹槽内部，使压盖与固定环相对的两端相连接，将螺栓依次插入盖板、压盖、固定环内部，将螺母套在在螺栓上；

（A2）.将盖板插入视镜下法兰的螺纹柱内部，将螺母套在在螺纹柱上，密封圈的唇形侧壁与内筒锻件管内壁的衔接槽相贴合；