[发明专利]多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法

权利要求书

1.多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，其特征在于：包括设置在内筒锻件管（1）内部的固定环（8）和安装在视镜下法兰（2）端部的盖板（5），所述固定环（8）相对的两侧壁上对称开设有凹槽（81），所述凹槽（81）内部套设有用于与内筒锻件管（1）内壁紧密贴合的密封圈（9），所述固定环（8）相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈（9）进行限位的压盖（6），所述压盖（6）端部与盖板（5）侧壁相连接；

所述密封圈（9）远离固定环（8）的一侧为唇形结构，内筒锻件管（1）内壁设置有一对衔接槽（15），所述衔接槽（15）与密封圈（9）的唇形侧壁相贴合；

所述固定环（8）、密封圈（9）、压盖（6）分别与内筒锻件管（1）内壁之间留有间隙；

视镜下法兰（2）远离内筒锻件管（1）的一侧安装有贯穿盖板（5）的螺纹柱（3），所述盖板（5）上安装有依次贯穿压盖（6）、固定环（8）的螺栓（10），所述螺栓（10）和螺纹柱（3）上均安装有螺母（4）；

视镜下法兰（2）与盖板（5）之间形成第一气室（12），视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）之间形成第二气室（13），所述盖板（5）远离内筒锻件管（1）的一端开设有与第一气室（12）相连通的检漏孔（11），内筒锻件管（1）上开设有连通第二气室（13）和密封圈（9）的吹扫孔（16），所述吹扫孔（16）置于相邻的衔接槽（15）之间；

视镜下法兰（2）侧壁上开设有与第二气室（13）相连通的进气孔（71），所述进气孔（71）内部安装有管接头（7）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，其特征在于：视镜下法兰（2）分别与内筒锻件管（1）、管接头（7）连接处设置有焊缝（14）。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤（A）.对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处进行密封；

步骤（B）.对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处进行气密性检测；

其中：

步骤（A）具体包括如下

（A1）.将密封圈（9）套设在固定环（8）的凹槽（81）内部，使压盖（6）与固定环（8）相对的两端相连接，将螺栓（10）依次插入盖板（5）、压盖（6）、固定环（8）内部，将螺母（4）套在在螺栓（10）上；

（A2）.将盖板（5）插入视镜下法兰（2）的螺纹柱（3）内部，将螺母（4）套在在螺纹柱（3）上，密封圈（9）的唇形侧壁与内筒锻件管（1）内壁的衔接槽（15）相贴合；

步骤（B）具体包括如下

（B1）.对管接头（7）通入检测气体，气体顺着进气孔（71）进入第二气室（13），触摸与第一气室（12）连通的检漏孔（11）是否出气，用于检测视镜下法兰（2）端部与内筒锻件管（1）连接处是否漏气，对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）侧壁的焊缝（14）进行触摸，用于检测视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）侧壁的连接处是否漏气；

（B2）.第一气室（12）的气体沿着吹扫孔（16）进入固定环（8）、密封圈（9）、压盖（6）分别与内筒锻件管（1）内壁之间留有的间隙内部，气体压力及压盖（6）对密封圈（9）进行挤压，密封圈（9）受到压力变形，使密封圈（9）的唇形侧壁与内筒锻件管（1）内壁的衔接槽（15）紧密贴合，使视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处形成独立的密封腔体。