[发明专利]氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置

权利要求书

1.一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，包括反应炉(1)，所述反应炉(1)为反向石英双炉管设计，所述反应炉(1)的上端开设有石英分隔板(2)，所述石英分隔板(2)将所述反应炉(1)的石英双炉管内外分为内通道和外通道，所述内通道上设置有第一进气口(4)和第二进气口(5)，所述外通道上设置有出气口(6)，所述反应炉(1)的顶端设置有进料口，所述进料口上方设置有多层石墨基座(3)，所述多层石墨基座(3)通过升降机构进入所述进料口进行反应，所述反应炉(1)的外管壁上由上而下分别设置有第一线圈(7)和第二线圈(8)，所述第一线圈(7)和所述第二线圈(8)用于为所述反应炉(1)加热；

所述第一进气口(4)用于通入氮气，所述第二进气口(5)用于通入氩气或是氦气，所述出气口(6)连接真空管道，气体经由所述内通道进入所述反应炉(1)，经由所述外通道排出所述反应炉(1)；

所述多层石墨基座(3)包括基座本体(33)，所述基座本体(33)包括多层基座，每个基座表面(32)上均设置有石英基材(34)，所述石英基材(34)中心设置有凹槽，所述凹槽用于填充氧化钛掺杂旋涂玻璃(35)，所述基座本体(33)的上方设置有石墨悬挂器(31)，所述石墨悬挂器(31)通过与所述升降机构连接实现所述多层石墨基座(3)的上下升降；所述多层石墨基座(3)上还设置有旋转机构，所述旋转机构用于旋转所述多层石墨基座(3)，使其受热均匀；

第一线圈(7)和所述第二线圈(8)单独均可为由上至下渐变多区加热线圈数，端视由上到下的温度梯度要求决定。

2.根据权利要求1所述的一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，所述第一线圈(7)为直流线圈，所述第一线圈(7)通过电阻加热保持温度小于1100℃。

3.根据权利要求1所述的一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，所述第二线圈(8)为直流+射频线圈，所述第二线圈(8)通过电阻+电磁加热保持温度小于1700℃。

4.根据权利要求1所述的一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，所述多层石墨基座(3)整体采用石墨制成。

5.根据权利要求1所述的一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，所述石英双炉管和所述石英分隔板(2)为一体成型设计。

6.根据权利要求1所述的一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，其特征在于，所述石英双炉管和所述石英分隔板(2)为两个相互独立的结构。