[发明专利]集成电路封装体的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110767256.5 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113539840A 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 黄晓波;宋向东 申请(专利权)人: 江西龙芯微科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/50;H01L21/56;H01L23/498;H01L23/552
代理公司: 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 代理人: 夏军
地址: 337016 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 封装 制造 方法
【权利要求书】:

1.集成电路封装体的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、将由树脂形成的拉伸前膜拉伸而得到拉伸膜;

S2、对拉伸膜加热,树脂膜的耐折度为2000-2100次,树脂膜的吸水率为0.08%-0.09%,且耐热温度为180-190摄氏度;

S3、取多层铜箔与多层拉伸膜复合,拉伸膜与铜箔间隔设置,铜箔与拉伸膜环氧通过粘合剂粘合,进行热处理,逐渐冷却,退火,得到封装用承载基板;

S4、配置承载基板与配置于该承载基板上的导电材料层;

S5、图案化该导电材料层,以形成导电图案层;

S6、形成线路基板于该承载基板上,其中形成线路基板包括形成介电层于该承载基板上,该介电层覆盖该承载基板与该导电图案层;

S7、配置集成电路于该承载基板上,并将该集成电路电性连接该承载基板;

S8、形成封装胶体于该承载基板上,其中该封装胶体包覆该集成电路;以及移除该承载基板,其中该接垫的底面与该介电层的表面切齐。

2.根据权利要求1所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,所述承载基板包括磊晶层,该磊晶层包括依次生长的第一半导体层、发光层及第二半导体层,磊晶层具有贯穿其第一半导体层、发光层及第二半导体层的缺陷。

3.根据权利要求1所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,步骤S3中,进行热处理的工序包括将加工完毕坡莫合金PC材料加热至650℃至850℃后,逐渐冷却该加工完毕坡莫合金PC材料的退火工序,得到承载基板。

4.根据权利要求2所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,承载基板顶面具有多个沟槽及多个凸脊,缺陷位于凸脊上方,沟槽与凸脊交替分布于承载基板顶面。

5.根据权利要求4所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,沟槽内部形成缓冲层,缓冲层的厚度小于沟槽的深度,缓冲层位于磊晶层及基板之间。

6.根据权利要求1所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,树脂包含选自丁腈橡胶、天然橡胶、苯乙烯丁二烯橡胶、丁二烯橡胶、乙烯丙烯橡胶、异戊二烯橡胶、聚氨酯橡胶、和丙烯酸橡胶中的1种以上。

7.根据权利要求1所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,步骤S2中,对拉伸膜加热,树脂膜的耐折度为2100次,树脂膜的吸水率为0.09%,且耐热温度为180摄氏度。

8.根据权利要求1所述的集成电路封装体的制造方法,其特征在于,步骤S2中,对拉伸膜加热,树脂膜的耐折度为2050次,树脂膜的吸水率为0.085%,且耐热温度为190摄氏度。

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