[发明专利]检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质

说明书

本申请公开了一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质，所述校准设备获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。所述检测设备通过校准设备获取校准片的不同检测图像，并根据检测图像的图像特征对检测设备中的检测镜头或相机进行调整，从而校准检测镜头的设置高度与相机的俯仰角度，提高检测设备的检测精度。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质。

背景技术

晶圆检测过程中，检测模块是检测设备的重要组成部分。检测模块在设计的过程中，通常会根据检测需求，选取合适的探测器与检测镜头，并结合整机架构进行开发。为了提高检测设备的检测精度，在对晶圆检测前需要对探测器与检测镜头进行校准，现有技术中，无法直观的对检测镜头的位置以及探测器的俯仰，偏摆角度进行确定，从而使探测器与检测镜头的实际位置与理论位置存在偏差，降低了检测设备的检测精度。

发明内容

本申请实施例提供一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质。

第一方面，本申请实施例提供一种检测设备的校准方法，应用于校准设备，所述检测设备包括检测镜头与相机，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载校准件，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述校准方法包括：

获取不同检测区域的检测图像；

确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；

根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；

根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；

根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。

可选的，所述根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，包括：

根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；

确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；

根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值。

可选的，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，包括：

当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；

确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；

根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。

可选的，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，还包括：

当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；

确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；

根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。

可选的，所述校准参数包括调整角度与调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：