[发明专利]检测设备的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质

说明书

本申请公开了一种检测设备的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质，所述校准设备获取不同检测区域的检测图像；根据所述检测图像确定不同检测区域的所述校准点的校准点尺寸；据所述校准点尺寸确定所述检测设备的校准参数，所述校准参数包括相机的调整角度以及检测镜头的调整高度中的至少一个；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，所述检测设备通过校准设备获取校准片的不同检测图像，并根据检测图像的图像特征对检测设备中的检测镜头或相机进行调整，从而校准检测镜头的调整高度与相机的俯仰角度，提高检测设备的检测精度。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测设备的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质。

背景技术

晶圆检测过程中，检测设备是检测设备的重要组成部分。检测设备在设计的过程中，通常会根据检测需求，选取合适的探测器与检测镜头，并结合整机架构进行开发。为了提高检测设备的检测精度，在对晶圆检测前需要对探测器与检测镜头进行校准，现有技术中，无法直观的对检测镜头的位置以及探测器的俯仰，偏摆角度进行确定，从而使探测器与检测镜头的实际位置与理论位置存在偏差，降低了检测设备的检测精度。

发明内容

本申请实施例提供一种检测设备的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质。

第一方面，本申请实施例提供一种校准方法，应用于校准设备，所述检测设备包括检测镜头与相机，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载校准件，所述校准件沿第一方向包括多个检测区域，每个所述检测区域包括多个校准点组成的点阵，所述校准方法包括：

获取不同检测区域的检测图像；

根据所述检测图像确定不同检测区域的所述校准点的校准点尺寸；

根据所述校准点尺寸确定所述检测设备的校准参数，所述校准参数包括相机的调整角度以及检测镜头的调整高度中的至少一个；

根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。

可选的，所述根据所述检测图像确定不同检测区域的所述校准点的校准点尺寸，包括：

对不同检测区域对应的检测图像进行图像处理；

确定图像处理后的检测图像中的校准点沿所述第一方向的第一直径与沿第二方向的第二直径，所述第一方向与所述第二方向垂直；

根据所述第一直径与所述第二直径确定所述校准点尺寸。

可选的，所述确定图像处理后的检测图像中的校准点沿所述第一方向的第一直径与沿第二方向的第二直径，包括：

确定所述检测图像中的校准点的轮廓信息；

根据所述轮廓信息确定所述校准点的中心位置；

确定经过所述中心位置，并沿所述第一方向的径向长度作为第一直径以及沿所述第二方向的径向长度作为第二直径。

可选的，所述校准参数包括所述相机的调整角度，所述根据所述校准点尺寸确定所述检测设备的校准参数，包括：

确定沿第一方向分布的两个检测区域之间的校准点尺寸的第一差值；

当所述第一差值大于预设差值时，按照预设调整角度调整所述相机的俯仰角度；

获取调整后的两个检测区域的校准点尺寸的第二差值；

根据所述预设调整角度、第一差值与第二差值确定所述相机的调整角度。

可选的，所述校准参数包括所述检测镜头的调整高度，所述确定沿第一方向分布的两个检测区域之间的校准点尺寸的第一差值，之后还包括：

当所述第一差值小于或等于预设差值时，对比两个检测区域的校准点尺寸与预设尺寸；