[发明专利]精准固晶装置有效
| 申请号: | 202110727174.8 | 申请日: | 2021-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN113471126B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
| 发明(设计)人: | 胡新平;梁志宏 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 精准 装置 | ||
1.一种精准固晶装置,其特征在于,包括:
扩膜供晶机构(10),用于供给晶片;
校正机构(20),用于旋转校正所述晶片的角度;
焊头机构(40),用于将所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片移送至所述校正机构(20)进行角度校正,再将校正后的所述晶片移送安装于支架上;以及,
镜头机构(30),用于摄取所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片的位置图像以使所述焊头机构(40)定位吸取所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片,用于摄取所述校正机构(20)上的所述晶片的晶片图像以配合所述校正机构(20)校正所述晶片的角度,并用于摄取所述支架上的晶片安装位图像以使所述焊头机构(40)根据所述晶片安装位图像向所述支架上安装所述晶片;
所述校正机构(20)包括校正台(21)和旋转电机(22),所述校正台(21)上设有台面(2101),所述台面(2101)为水平设置的平面,所述台面(2101)用于供晶片定位放置,所述旋转电机(22)与所述校正台(21)相连,所述旋转电机(22)驱动所述校正台(21)转动,并带动所述台面(2101)上的所述晶片转动,以对所述晶片进行角度校正;
所述镜头机构(30)包括取晶镜头(34)、校正镜头(35)、固晶镜头(36)和镜头座(33),所述取晶镜头(34)、所述校正镜头(35)及所述固晶镜头(36)均安装于所述镜头座(33)上;所述取晶镜头(34)用于摄取扩膜供晶机构10供给的所述晶片的位置图像,以使所述焊头机构(40)定位吸取所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片;所述校正镜头(35)用于摄取所述校正机构(20)上的所述晶片的晶片图像,以配合所述校正机构(20)校正所述晶片的角度;所述固晶镜头(36)用于摄取所述支架上的晶片安装位图像,以使所述焊头机构(40)根据晶片安装位图像向所述支架上安装所述晶片。
2.如权利要求1所述的精准固晶装置,其特征在于:所述镜头机构(30)还包括用于调节所述镜头座(33)位置的镜头移动模块(32)和支撑所述镜头移动模块(32)的镜头支座(31),所述镜头座(33)安装于所述镜头移动模块(32)上。
3.如权利要求1-2任一项所述的精准固晶装置,其特征在于:所述校正台(21)中开设有气道(2102),所述校正机构(20)包括用于外接抽气装置的气嘴(24),所述气嘴(24)与所述气道(2102)连通。
4.如权利要求1-2任一项所述的精准固晶装置,其特征在于:所述校正台(21)包括主轴(211)和安装于所述主轴(211)上端的定位头(212),所述定位头(212)上设有所述台面(2101),所述主轴(211)与所述旋转电机(22)相连。
5.如权利要求1-2任一项所述的精准固晶装置,其特征在于:所述焊头机构(40)包括两套固晶绑头(42)、驱动两套所述固晶绑头(42)分别升降的固晶升降模块(43)、分别驱动两套所述固晶绑头(42)纵向移动的固晶纵移模块(44)、驱动所述固晶纵移模块(44)横向移动的固晶横移模块(45)和支撑所述固晶横移模块(45)的固晶支座(41),所述固晶纵移模块(44)滑动安装于所述固晶支座(41)上,所述固晶升降模块(43)安装于所述固晶纵移模块(44)上,各所述固晶绑头(42)支撑于所述固晶纵移模块(44)上。
6.如权利要求5所述的精准固晶装置,其特征在于:所述固晶升降模块(43)包括分别与各套所述固晶绑头(42)相连的固晶动子(431)、分别支撑各所述固晶绑头(42)的滑板(433)和驱动各所述固晶动子(431)升降的固晶直线定子(432),各所述固晶动子(431)安装于所述固晶直线定子(432)中,两套所述固晶绑头(42)分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板(433)上,所述固晶纵移模块(44)用于分别驱动两个所述固晶动子(431)于所述固晶直线定子(432)中纵向移动,各所述滑板(433)分别与所述固晶纵移模块(44)相连。
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