[发明专利]可挠式光感测面板及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202110700647.5 申请日: 2021-06-23
公开(公告)号: CN113506816B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 吴皇君;陈瑞沛 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京市立康律师事务所 11805 代理人: 梁挥;孟超
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 可挠式光感测 面板 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种可挠式光感测面板,其特征在于,包括:

一可挠性基板;

一波长转换层,设置于该可挠性基板上;

一光电转换层,重叠设置于该波长转换层,且位于该可挠性基板与该波长转换层之间;

一中介层,设置于该光电转换层与该可挠性基板之间;以及

一黏着层,设置于该中介层与该可挠性基板之间,

其中该中介层的玻璃转移温度大于150℃,该可挠性基板的玻璃转移温度小于150℃。

2.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:

一金属反射层,设置于该波长转换层背离该光电转换层的一侧。

3.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该中介层的材质包括聚酰亚胺。

4.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该波长转换层的材质包括碘化铯。

5.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:

一绝缘层,设置于该光电转换层与该波长转换层之间,该绝缘层为至少一有机材料层与至少一无机材料层的堆叠结构。

6.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:

一主动元件,设置于该可挠性基板上;以及

一第一绝缘层,设置于该主动元件与该光电转换层之间,该第一绝缘层具有一开口,该光电转换层经由该开口与该主动元件电性连接。

7.如权利要求6所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:

一第一电极,设置于该光电转换层的一第一表面上;

一第二电极,设置于该光电转换层的一第二表面上,该第二表面与该第一表面相对,其中该第二电极、该主动元件的一源极与一漏极属于同一膜层;

一第二绝缘层,覆盖该主动元件、该光电转换层与该第一电极;以及

一第一金属导电层,设置于该第二绝缘层上,且电性连接该第一电极。

8.如权利要求7所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:

一第二金属导电层,设置于该第二绝缘层上,且电性连接该主动元件的该漏极;以及

一第三绝缘层,设置于该第一金属导电层与该第二金属导电层之间。

9.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该可挠性基板包括彼此重叠设置的一第一板材和一第二板材,且该第一板材的杨氏模量不同于该第二板材的杨氏模量。

10.一种可挠式光感测面板,其特征在于,包括:

一可挠性基板;

一波长转换层,设置于该可挠性基板上;

一光电转换层,重叠设置于该波长转换层,且位于该可挠性基板与该波长转换层之间;

一中介层,设置于该光电转换层与该可挠性基板之间;以及

一黏着层,设置于该中介层与该可挠性基板之间,

其中该可挠性基板与该中介层的其中至少一者的玻璃转移温度大于150℃;

该可挠性基板包括彼此重叠设置的一第一板材和一第二板材,且该第一板材的杨氏模量不同于该第二板材的杨氏模量;该第一板材位于该光电转换层与该第二板材之间,且该第二板材对于波长介于300nm至400nm的光线的穿透率大于60%。

11.一种可挠式光感测面板的制造方法,其特征在于,包括:

于一暂时基板上形成一中介层与一光电转换层,该中介层位于该暂时基板与该光电转换层之间;

进行一热蒸镀制程,以形成一波长转换层于该光电转换层上;

移除该暂时基板,并暴露出该中介层;以及

将一可挠性基板贴附于该中介层,其中该可挠性基板、该中介层与该暂时基板的其中至少一者的玻璃转移温度大于150℃。

12.如权利要求11所述的可挠式光感测面板的制造方法,其特征在于,该热蒸镀制程的反应温度介于150℃至200℃的范围内。

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