[发明专利]可挠式光感测面板及其制造方法有效
申请号: | 202110700647.5 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113506816B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 吴皇君;陈瑞沛 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人: | 梁挥;孟超 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可挠式光感测 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一种可挠式光感测面板,其特征在于,包括:
一可挠性基板;
一波长转换层,设置于该可挠性基板上;
一光电转换层,重叠设置于该波长转换层,且位于该可挠性基板与该波长转换层之间;
一中介层,设置于该光电转换层与该可挠性基板之间;以及
一黏着层,设置于该中介层与该可挠性基板之间,
其中该中介层的玻璃转移温度大于150℃,该可挠性基板的玻璃转移温度小于150℃。
2.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:
一金属反射层,设置于该波长转换层背离该光电转换层的一侧。
3.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该中介层的材质包括聚酰亚胺。
4.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该波长转换层的材质包括碘化铯。
5.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:
一绝缘层,设置于该光电转换层与该波长转换层之间,该绝缘层为至少一有机材料层与至少一无机材料层的堆叠结构。
6.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:
一主动元件,设置于该可挠性基板上;以及
一第一绝缘层,设置于该主动元件与该光电转换层之间,该第一绝缘层具有一开口,该光电转换层经由该开口与该主动元件电性连接。
7.如权利要求6所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:
一第一电极,设置于该光电转换层的一第一表面上;
一第二电极,设置于该光电转换层的一第二表面上,该第二表面与该第一表面相对,其中该第二电极、该主动元件的一源极与一漏极属于同一膜层;
一第二绝缘层,覆盖该主动元件、该光电转换层与该第一电极;以及
一第一金属导电层,设置于该第二绝缘层上,且电性连接该第一电极。
8.如权利要求7所述的可挠式光感测面板,其特征在于,更包括:
一第二金属导电层,设置于该第二绝缘层上,且电性连接该主动元件的该漏极;以及
一第三绝缘层,设置于该第一金属导电层与该第二金属导电层之间。
9.如权利要求1所述的可挠式光感测面板,其特征在于,该可挠性基板包括彼此重叠设置的一第一板材和一第二板材,且该第一板材的杨氏模量不同于该第二板材的杨氏模量。
10.一种可挠式光感测面板,其特征在于,包括:
一可挠性基板;
一波长转换层,设置于该可挠性基板上;
一光电转换层,重叠设置于该波长转换层,且位于该可挠性基板与该波长转换层之间;
一中介层,设置于该光电转换层与该可挠性基板之间;以及
一黏着层,设置于该中介层与该可挠性基板之间,
其中该可挠性基板与该中介层的其中至少一者的玻璃转移温度大于150℃;
该可挠性基板包括彼此重叠设置的一第一板材和一第二板材,且该第一板材的杨氏模量不同于该第二板材的杨氏模量;该第一板材位于该光电转换层与该第二板材之间,且该第二板材对于波长介于300nm至400nm的光线的穿透率大于60%。
11.一种可挠式光感测面板的制造方法,其特征在于,包括:
于一暂时基板上形成一中介层与一光电转换层,该中介层位于该暂时基板与该光电转换层之间;
进行一热蒸镀制程,以形成一波长转换层于该光电转换层上;
移除该暂时基板,并暴露出该中介层;以及
将一可挠性基板贴附于该中介层,其中该可挠性基板、该中介层与该暂时基板的其中至少一者的玻璃转移温度大于150℃。
12.如权利要求11所述的可挠式光感测面板的制造方法,其特征在于,该热蒸镀制程的反应温度介于150℃至200℃的范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的