[发明专利]高温二极管制备方法及高温二极管

权利要求书

1.一种高温二极管制备方法，其特征在于，包括：

1）采用沟槽氮化硅玻璃烧结工艺制备二极管管芯；

2）将二极管管芯、管座和内引线在共晶焊炉内焊接形成半成品；其中，管座在其底面开设有凹槽，凹槽内用银铜焊料烧结有钼片；所述内引线为S型内引线；

3）采用脉冲焊模具将半成品与管帽进行熔焊封帽；所述管帽包括管帽本体和一体成型的阴极管；

4）将阴极管与内引线冲压铆接形成二极管成品；

4） 步骤具体为：采用打扁冲孔模具用冲床将阴极管与内引线冲压铆接，同时在阴极管顶部冲制安装孔；

采用沟槽氮化硅玻璃烧结工艺制备二极管管芯，具体包括：

硅单晶、扩散、硅片分立、P面减薄、清洗、扩散、硅片分离、吹砂、清洗、氧化、光刻电压槽、台面腐蚀、清洗、氮化硅沉积、玻璃钝化、二氧化硅、开窗、等离子刻蚀、阴面金属化、金属化、阳面金属化、合金和芯片切割；

其中，金属化包括蒸发镍、钛、银，在一个设备内一次性完成；台面造型采用刻蚀；台面保护包括四层保护：氮化硅沉积、玻璃钝化、二氧化硅以及管芯完成后最后加一层高温硅橡胶保护。

2.根据权利要求1所述的高温二极管制备方法，其特征在于，在2和3步骤之间，所述方法还包括：

镜检，检测所述半成品的焊接质量及是否有多余物；

装管帽，用氮气将管帽吹干净后套在已镜检的半成品上；

中间电测试，检查半成品的电压、漏电特性；

封前预烘，中间电测试后的半成品在100℃的烘箱中烘干第一设定时长。

3.根据权利要求1所述的高温二极管制备方法，其特征在于，在3步骤之后，所述方法还包括：

密封性检查，将封帽后的二极管加压第二设定时长后放进125℃的高温氟油内检测漏气情况。

4.根据权利要求1所述的高温二极管制备方法，其特征在于，4步骤之后，所述方法还包括：

电镀；

筛选，进行高温贮存、温度循环、恒定加速度、密封性检查、多余物检测、电流老练、高温反偏实验来判断二极管质量和可靠性；

终测，剔除不符合电参数测试的二极管。

5.一种高温二极管，其特征在于，采用如权利要求1-4任一项所述的高温二极管制备方法制备。