[发明专利]一种多芯片堆叠的底层传感区域裸露方法及封装结构在审

专利信息
申请号: 202110654839.7 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113394117A 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 刘昭麟;崔广军;宋超超 申请(专利权)人: 山东盛芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 李圣梅
地址: 250220 山东省济南市中国(山东)自由*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 堆叠 底层 传感 区域 裸露 方法 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种多芯片堆叠的底层传感区域裸露方法,其特征是,包括:

将底层芯片保护杆固定块与底座连接固定,将底层芯片保护杆插入底层芯片保护杆固定块的对应定位孔内,保护杆底部与底层传感芯片传感区域顶面接触,避免胶水渗入传感区域;

保护杆顶部放置弹性部件,将盖板盖在弹性部件上并与底层芯片保护杆固定块固定,实现保护杆与芯片动态紧密接触;

将需要堆叠放置的芯片依次逐层堆叠粘结,待胶水固化后,将保护杆取出,避免破坏刚刚形成的规则通道;

完成多芯片堆叠。

2.如权利要求1所述的一种多芯片堆叠的底层传感区域裸露方法,其特征是,将底层芯片保护杆固定块与底座连接固定之前,需要将基板放置到底座上并进行固定。

3.如权利要求1所述的一种多芯片堆叠的底层传感区域裸露方法,其特征是,将基板放置到底座上并进行固定时,通过不断调整位于其周边的定位块将基板XY方向准确定位,通过拧紧定位块上的标准螺栓将基板固定。

4.如权利要求1所述的一种多芯片堆叠的底层传感区域裸露方法,其特征是,将保护杆取出之后,将基板定位块、基板取出,完成多芯片堆叠过程。

5.一种封装结构,其特征是,包括:

基板、定位组件及底层芯片保护杆组件;

所述基板固定在底座上,所述定位组件布置在基板的周边位于底座之上,用于将基板XY方向准确定位;

所述底层芯片保护杆组件用于与底层传感芯片传感区域顶面接触,避免胶水渗入传感区域且实现与芯片动态紧密接触,待胶水固化后,形成的规则通道。

6.如权利要求5所述的一种封装结构,其特征是,所述定位组件为多组,分别位于基板的前后左右位置,每组定位组件均包括第一定位块及第二定位块,第一定位块靠近基板的边缘,第二定位块与第一定位块位于一条直线上并施加力于第一定位块。

7.如权利要求5所述的一种封装结构,其特征是,所述第二定位块上设置有紧固部件,在基板位置XY方向准确定位后,利用紧固部件将基板固定。

8.如权利要求5所述的一种封装结构,其特征是,靠近第二定位块且位于底座的周边位置上分别布设有定位销。

9.如权利要求5所述的一种封装结构,其特征是,所述底层芯片保护杆组件包括:底层芯片保护杆固定块及底层芯片保护杆;

所述底层芯片保护杆固定块的两端通过定位销与底座连接固定,底层芯片保护杆插入底层芯片保护杆固定块中部的对应定位孔内。

10.如权利要求5所述的一种封装结构,其特征是,所述底层芯片保护杆组件还包括:标准弹簧及盖板,标准弹簧放置在底层芯片保护杆的顶部,盖板盖在标准弹簧上。

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