[发明专利]一种VDMOS器件结构的三极管显示器在审
申请号: | 202110594705.0 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113327988A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 杜晓松;郭华飞;沈秋华;宋东;杨晋苏;张婷;杨长春 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/32 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 王敏 |
地址: | 213164 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 vdmos 器件 结构 三极管 显示器 | ||
本发明公开了一种VDMOS器件结构的三极管显示器,包括多个像素,每个像素包括三个子像素单元;驱动背板承载多个像素;所述子像素单元包括VDMOS器件,所述VDMOS器件设置在驱动背板上,且覆盖至少一个所述过孔。本发明减少了响应时间,提高了显示亮度,具有高分辨率、高亮度、高对比度和低响应时间的显示功能。
技术领域
本发明涉及基于一种VDMOS器件结构的三极管显示器,属于显示器制造领域。
背景技术
随着显示技术的不断发展,显示面板的应用范围越来越广泛,人们对显示面板的要求也越来越高。例如,显示面板应用于手机、电脑、平板电脑、电子书、信息查询机和可穿戴设备等产品。而随着显示面板应用范围扩大,人们对于显示技术和显示器件提出了越来越高的要求。传统的LED/OLED显示器存在一定的局限性,已经无法满足现在人们对视觉体验的更多要求。
发明内容
为解决现有技术中的不足,本发明提供一种VDMOS器件结构的三极管显示器,实现高分辨率、高亮度、高对比度和低响应时间的显示功能。
本发明中主要采用的技术方案为:
一种VDMOS器件结构的三极管显示器,包括:
多个像素,每个所述像素包括三个子像素单元,包括红色子像素单元、绿色子像素单元、蓝色子像素单元;
驱动背板,所述驱动背板上设有若干规则排列的过孔,所述子像素单元覆盖至少一个所述过孔;所述驱动背板承载多个像素,用于驱动所述子像素单元发光;
所述子像素单元包括阳极、VDMOS器件、ITO/TiN薄膜层和LED发光单元,所述阳极设置在驱动背板上,且覆盖至少一个所述过孔,所述VDMOS器件设置在阳极远离驱动背板的一侧,所述ITO/TiN薄膜层包括上下堆叠设置的ITO薄膜层和TiN薄膜层,所述TiN薄膜层设置在VDMOS器件上远离驱动背板的一侧,所述ITO薄膜层设置在TiN薄膜层上远离驱动背板的一侧,所述LED发光单元设置在ITO薄膜层上远离驱动背板的一侧。
优选地,所述VDMOS器件包括NPN型半导体层、SiN侧壁保护层、栅极绝缘层和栅极,所述NPN型半导体层位于阳极远离驱动背板的一侧,所述ITO/TiN薄膜层设置在NPN型半导体层远离驱动背板的一侧,所述SiN侧壁保护层设置在ITO/TiN薄膜层上表面四周,形成SiN槽,所述栅极绝缘层包覆在SiN侧壁保护层、ITO/TiN薄膜层和NPN型半导体层的外侧壁上,所述栅极设置在栅极绝缘层的侧壁上,所述栅极绝缘层的垂直剖面为L型结构,且栅极底面与栅极绝缘层接触。
优选地,所述LED发光单元包括RGB OLED发光层和漏极,所述RGB OLED发光层位于SiN槽内ITO/TiN薄膜层远离驱动背板的一侧,所述红色子像素单元的RGB OLED发光层中为红色OLED发光材料;所述绿色子像素单元的RGB OLED发光层中为绿色OLED发光材料;所述蓝色子像素单元的RGB OLED发光层为蓝色OLED发光材料,所述漏极位于RGB OLED发光层远离驱动背板的一侧。
优选地,所述VDMOS器件包括NPN型半导体层、栅极和栅极绝缘层,所述NPN型半导体层位于阳极远离驱动背板的一侧,所述栅极绝缘层镀覆在NPN型半导体层和阳极的外侧壁,所述栅极覆盖在所述栅极绝缘层的侧边。
优选地,所述LED发光单元包括键合金属层、第一半导体层、发光层和第二半导体层,所述键合金属层键合生长在ITO/TiN薄膜层远离驱动背板一侧,所述第一半导体层位于所述键合金属层远离驱动背板的一侧;所述发光层设置在所述第一半导体层远离驱动背板的一侧;所述第二半导体层设置在所述发光层远离驱动背板的一侧;所述红色子像素单元、所述绿色子像素单元和所述蓝色子像素单元中的发光层发出蓝光。
优选地,所述LED发光单元为OLED白光层,所述OLED白光层位于ITO/TiN薄膜层远离驱动背板的一侧,且与ITO/TiN薄膜层接触。
优选地,还包括第一薄膜封装层、共阴极和第二薄膜封装层,其中,
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