[发明专利]基于电荷的电容测量的系统及方法

权利要求书

1.一种用于基于电荷的电容测量的系统，其特征在于，该系统包含：

一第一伪反相器电路及一第二伪反相器电路；

一控制电路，耦接在该第一伪反相器电路与该第二伪反相器电路之间，该控制电路用以为该第一伪反相器电路及该第二伪反相器电路产生独立且不重叠的多个控制信号；以及

一屏蔽金属，耦接至该第一伪反相器电路、该第二伪反相器电路以及该控制电路，该屏蔽金属用以耗散该第一伪反相器电路或该第二伪反相器电路中的至少一者的寄生电容量，

其中一受测装置耦接至该第一伪反相器电路及该第二伪反相器电路中的每一者。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，在一第一时间中，不重叠的所述多个控制信号促进该受测装置的一电容量及一寄生电容量的特征化，并且其中在一第二时间中，不重叠的所述多个控制信号促进该受测装置的该电容量的特征化。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，该受测装置的该电容量表达如下：

其中C_dut为该受测装置的该电容量，I_ac1为由该寄生电容量感应的电流，I_ac2为由该受测装置感应的电流，V_dd1为一供应电压，并且f为一时脉频率。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该第一伪反相器电路由一第一控制信号控制，该第二伪反相器电路由一第二控制信号控制，并且该第一控制信号及该第二控制信号为多个不重叠且独立的输入信号。

5.一种用于基于电荷的电容测量的方法，其特征在于，该方法包含：

将一第一电压施加至一第一伪反相器电路，以及将一第二电压施加至一第二伪反相器电路，其中一受测装置耦接在该第一伪反相器电路与该第二伪反相器电路之间；

测量该受测装置的一第一电容量，其中该第一电容量包含该受测装置的一电容量及一寄生电容量；

在测量该第一电容量之后，测量该寄生电容量；以及

基于该第一电容量及该寄生电容量来判定该受测装置的该电容量。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在一第一时间中，多个不重叠控制信号促进该受测装置的该电容量及该寄生电容量的特征化，并且其中在一第二时间中，所述多个不重叠控制信号促进该受测装置的该电容量的特征化。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，该第一伪反相器电路由一第一控制信号控制，该第二伪反相器电路由一第二控制信号控制，并且该第一控制信号及该第二控制信号为多个不重叠且独立的输入信号。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，该第一伪反相器电路耦接至一第一功率供应，并且该第二伪反相器电路耦接至一第二功率供应，并且其中该第一功率供应及该第二功率供应彼此不同。

9.一种用于基于电荷的电容测量的系统，其特征在于，该系统包含：

一第一驱动器电路；

一第二驱动器电路；以及

一控制电路，耦接在该第一驱动器电路与该第二驱动器电路之间，该控制电路用以为该第一驱动器电路及该第二驱动器电路产生独立且不重叠的多个控制信号；

其中一受测装置耦接至该第一驱动器电路及该第二驱动器电路中的每一者。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，该第一伪反相器电路由一第一控制信号控制，该第二伪反相器电路由一第二控制信号控制，并且该第一控制信号及该第二控制信号为多个不重叠且独立的输入信号。