[发明专利]一类含硅快速图形化嵌段共聚物的制备和应用方法在审

专利信息
申请号: 202110575506.5 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN113754843A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 邓海;周家诺 申请(专利权)人: 上海雅天微电纳刻材料科技有限公司;复旦大学
主分类号: C08F293/00 分类号: C08F293/00;G03F7/075
代理公司: 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) 44632 代理人: 钟火军
地址: 200000 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一类 快速 图形 化嵌段 共聚物 制备 应用 方法
【权利要求书】:

1.一种含硅快速图形化嵌段共聚物,其特征在于:所述含硅快速图形化嵌段共聚物包含嵌段A和嵌段B;

所述嵌段A含有单体结构单元MA1和/或MA2;

所述嵌段B含有单体结构单元MB1,或所述嵌段B含有单体结构单元MB1以及MB2和/或MB3;

所述MA1的结构:所述MA2的结构:

所述MB1的结构:所述MB2的结构:

所述MB3的结构:

2.根据权利要求1所述的含硅快速图形化嵌段共聚物,其特征在于,所述MA1和MA2中的R1选自:取代或未取代的C1-C6烷基、取代或未取代的C1-C6烷氧基、取代或未取代的C6-C10芳基、取代或未取代的C1-C20硅烷基、取代或未取代的C1-C20硅氧烷基、取代或未取代的C1-C20锗烷基、取代或未取代的C1-C20锗氧烷基、取代或未取代的C1-C20锡烷基、取代或未取代的C1-C20锡氧烷基;

其中,R1中所述的取代指选自以下一个或多个取代基取代:卤素、羟基、三甲基硅烷基、三甲基硅烷基氧基、三乙氧基硅烷基、三甲基锗烷基、三甲基锗烷基氧基、三乙氧基锗烷基、三甲基锡烷基、三甲基锡烷基氧基、三乙氧基锡烷基、未取代或被羟基取代的烷基、未取代或被羟基取代的芳基。

3.根据权利要求1所述的含硅快速图形化嵌段共聚物,其特征在于,所述MB1中的R2选自:无取代或卤素取代的C1-C10直链烷基、无取代或卤素取代的C1-C10分支烷基、无取代或卤素取代的C6-C20环状烷基;

所述MB1中的R3选自:H、卤素、取代或未取代的C1-C6烷基、取代或未取代的C1-C6烷氧基、取代或未取代的C6-C10芳基;

其中,R3中所述的取代指选自以下一个或多个取代基取代:卤素、羟基、三甲基硅烷基、三甲基硅烷基氧基、三乙氧基硅烷基、三甲基锗烷基、三甲基锗烷基氧基、三乙氧基锗烷基、三甲基锡烷基、三甲基锡烷基氧基、三乙氧基锡烷基、未取代或被羟基取代的烷基、未取代或被羟基取代的芳基。

4.根据权利要求1所述的含硅快速图形化嵌段共聚物,其特征在于,所述MB2中的R4选自:H、取代或未取代的含1-5个Si的硅烷基、取代或未取代的含1-5个Ge的锗烷基、取代或未取代的含1-5个Sn的锡烷基、取代或未取代的C1-C10的烷基、取代或未取代的烃氧基、取代或未取代的酯基、取代或未取代的C3-C6的环烷基、取代或未取代的C6-C10的芳基、取代或未取代的含1-3个选自N、O、S的C6-C10的杂芳基、羟基、卤素;

其中,R4中所述的取代指选自以下一个或多个取代基取代:C1-C6烷基、含1-5个Si的硅烷基、C1-C6烷氧基取代的含1-5个Si的硅烷基、含1-5个Si的硅烷基氧基、含1-5个Si的硅烷基氧基取代的含1-5个Si的硅烷基氧基、C1-C6烷氧基、羟基。

5.根据权利要求1所述的含硅快速图形化嵌段共聚物,其特征在于,所述嵌段B中含有可进行后修饰的结构单元:

所述后修饰为利用选自下述结构的胺类化合物进行修饰:

所述R5选自:取代或未取代的C1-C18烷基、取代或未取代的C3-C18环烷基、取代或未取代的C1-C18烷氧基、取代或未取代的C3-C18环烷氧基、取代或未取代的含1-9个选自N、O、P和S的杂原子的3-18元杂环基、取代或未取代的含1-9个选自N、O、P、Si和S的杂原子的直链或支链C1-C18烷基、取代或未取代的含1-3个金属原子的C3-C20烷基;

其中,R5中所述的取代指选自以下一个或多个取代基取代:卤素、羟基、三甲基硅烷基、三甲基硅烷基氧基、三乙氧基硅烷基、三甲基锗烷基、三甲基锗烷基氧基、三乙氧基锗烷基、三甲基锡烷基、三甲基锡烷基氧基、三乙氧基锡烷基、未取代或被羟基取代的烷基、未取代或被羟基取代的芳基;

所述金属原子选自:Fe、Ti、Hf、V、Zr、Ge、Sn。

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