[发明专利]一种多色钻石的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110563259.7 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN113512715A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 单崇新;林超男;杨珣;杨西贵;臧金浩 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/511;C23C16/56
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 陈超
地址: 450000 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 多色 钻石 制备 方法
【说明书】:

发明属于材料生长技术,具体的涉及多色钻石的制备方法。采用微波等离子体化学气相沉积法生长钻石,控制不同生长阶段腔体气氛及生长后处理手段,得到多色钻石。本发明通过微波等离子体化学气相沉积法生长钻石,通过控制生长过程中不同阶段的气氛,得到不同颜色的钻石。该方法可生长单色、双色、三色甚至具有更多颜色的钻石。

技术领域

本发明属于材料生长技术,具体的涉及多色钻石的制备方法。

背景技术

钻石是在地球深部高压、高温条件下形成的一种由碳元素组成的单质晶体。钻石美丽且稀有,是爱情和忠贞的象征,代表永恒不破的爱情。天然钻石多为无色,色调越深,质量越差。少量天然钻石具有彩色,如:黄色、绿色、蓝色、褐色、粉红色、橙色、红色、黑色、紫色等,属于钻石中珍品,价格昂贵。随着科学技术的发展,人工合成金刚石技术发展,目前戴比尔斯集团、施华洛世奇等国际钻石公司相继推出了人工钻石品牌。人工合成钻石与天然钻石成分完全相同,同时还具有成本较低、周期短、不破坏生态环境等优点。

目前合成人造钻石的方法主要有高温高压法(简称HTHP)和化学气相沉积法(简称CVD),HPHT法是在20世纪50年代发展起来的,是目前制造合成金刚石使用最为广泛的方法。在HPHT工艺中,石墨在大容量高压设备中被压缩,并且在过渡金属(Fe、Co、Ni或者其混合物)存在的条件下转化为金刚石,这些过渡金属在其中充当溶剂,起到催化剂的作用。在高温高压生长金刚石的过程中最常使用的压力为6-7GPa,常用的温度为1500-1700℃。HPHT方法的主要优点是成本相对较低而且产量高,HPHT法制造的金刚石广泛地应用在工业磨料以及切割和抛光工具上。在20世纪80年代研究人员发明了金刚石CVD合成工艺,其与目前半导体掺杂和器件制造工艺技术相兼容。因为在低压条件下,石墨是最稳定的相,所以在低压CVD工艺过程中,在生长表面上与金刚石相一起形成石墨相,为了获得连续的金刚石相,必须有效地去除石墨。人们发现,原子氢可以有选择性地蚀刻石墨相,同时使金刚石相处于稳定状态。因此,在CVD过程中必须用氢气高度稀释碳源气体,高纯度甲烷被广泛用作CVD金刚石的碳源气体,甲烷/氢气混合物中甲烷的浓度通常低于5%。气体净化,尤其是氢气的净化,对提高金刚石纯度是非常有效的。在生长期间,衬底温度通常为700-1000℃,真空腔体中的压强为20-100torr,提高衬底温度和真空腔体压强可以有效提高金刚石的生长速度。

在人工合成钻石方法中,高温高压法生长过程不容易调控,所生长的钻石多为单色。化学气相沉积法通过控制生长过程中的气氛条件,可实现对薄层的颜色调控,因此可以得到具有多种颜色的钻石。同时生长的每一颗钻石都具有不可重复性,都是独一无二的存在。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:提供一种多色钻石的制备方法。

为了解决上述技术问题,本发明的技术方案为:

一种多色钻石的制备方法,采用微波等离子体化学气相沉积法生长钻石,控制不同生长阶段腔体气氛及生长后处理手段,得到多色钻石。

其中所采用的掺杂元素有硼、氮等,所采用的处理手段有辐照以及热处理。

使用微波等离子体化学气相沉积法生长条件如下:甲烷浓度为2%-5%,掺杂元素浓度为ppb量级,温度为850℃-880℃,腔体压力为120-150mbar,微波功率为3000W-5500W。

本发明的有益效果为:通过微波等离子体化学气相沉积法生长钻石,通过控制生长过程中不同阶段的气氛,得到不同颜色的钻石。该方法可生长单色、双色、三色甚至具有更多颜色的钻石。

具体实施方式

一种多色钻石的制备方法,采用微波等离子体化学气相沉积法生长钻石,通过控制不同生长过程中的气氛,使钻石的不同位置具有不同颜色,该方法生长的每一颗钻石都具有独一无二性以及不可重复性。

实施案例一

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